[发明专利]等离子体处理装置有效
| 申请号： | 201880042506.5 | 申请日： | 2018-06-26 |
| 公开（公告）号： | CN110800379B | 公开（公告）日： | 2022-01-18 |
| 发明（设计）人： | 竹田敦;森脇崇行;井上忠;田名部正治;关谷一成;笹本浩;佐藤辰宪;土屋信昭 | 申请（专利权）人： | 佳能安内华股份有限公司 |
| 主分类号： | H05H1/46 | 分类号： | H05H1/46;C23C14/34;H01L21/3065 |
| 代理公司： | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人： | 宋岩 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 等离子体处理装置包括：巴伦，具有第一不平衡端子、第二不平衡端子、第一平衡端子和第二平衡端子；被接地的真空容器；第一电极，被电连接至第一平衡端子；第二电极，被电连接至第二平衡端子；以及接地电极，被布置在真空容器中并被接地。 | ||
| 搜索关键词： | 等离子体 处理 装置 | ||
【主权项】：
1.一种等离子体处理装置，其特征在于，包括：/n巴伦，包括第一不平衡端子、第二不平衡端子、第一平衡端子和第二平衡端子；/n被接地的真空容器；/n第一电极，被电连接至所述第一平衡端子；/n第二电极，被电连接至所述第二平衡端子；以及/n接地电极，被布置在所述真空容器中并被接地。/n
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