[发明专利]对准测量系统在审
| 申请号： | 201880037959.9 | 申请日： | 2018-05-15 |
| 公开（公告）号： | CN110730930A | 公开（公告）日： | 2020-01-24 |
| 发明（设计）人： | S·M·维特;A·安东琴赛奇;张浩;S·爱德华;P·C·M·普兰肯;塞巴斯蒂安努斯·阿德里安努斯·古德恩;S·R·胡伊斯曼;I·D·塞蒂贾;D·F·弗莱斯 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G03F9/00 | 分类号： | G03F9/00 |
| 代理公司： | 11021 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 王静 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 荷兰;NL |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 公开了一种用于确定物体中特征的特性的方法，所述特征被设置在所述物体的表面的下方。利用脉冲泵浦辐射束照射所述物体的所述表面以便在所述物体中产生声波。然后，利用测量辐射束照射物体的表面。接收从所述表面散射的所述测量辐射束的至少一部分，以及根据在测量时间段内从所述表面散射的所述测量辐射束的至少一部分确定所述物体中所述特征的特性。所述脉冲泵浦辐射束的时间强度分布被选择成使得所述测量时间段中信背比大于使用所述脉冲泵浦辐射束的单个脉冲实现的信背比。所述信背比是以下两者的比率：(a)由声波的从所述特征的反射在所述表面处生成的信号与(b)由没有从所述特征反射的声波的反射在所述表面处生成的背景信号。 | ||
| 搜索关键词： | 辐射束 测量 声波 脉冲泵 反射 表面处 时间段 散射 照射 背景信号 单个脉冲 强度分布 | ||
【主权项】：
1.一种用于确定物体中特征的特性的方法，所述特征被设置在所述物体的表面下方，所述方法包括：/n利用脉冲泵浦辐射束照射所述物体的所述表面以便在所述物体中产生声波；/n利用测量辐射束照射所述物体的所述表面；/n接收从所述表面散射的所述测量辐射束的至少一部分；以及/n根据在测量时间段内从所述表面散射的所述测量辐射束的至少一部分确定所述物体中所述特征的特性；/n其中，所述脉冲泵浦辐射束的时间强度分布被选择成使得在所述测量时间段中信背比大于使用所述脉冲泵浦辐射束的单个脉冲实现的信背比，所述信背比是以下两者的比率：(a)由声波的从所述特征的反射在所述表面处生成的信号与(b)由没有从所述特征反射的声波的反射在所述表面处生成的背景信号。/n
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于ASML荷兰有限公司，未经ASML荷兰有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201880037959.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
