[发明专利]对准测量系统

权利要求书

1.一种用于确定物体中特征的特性的方法，所述特征被设置在所述物体的表面下方，所述方法包括：

利用脉冲泵浦辐射束照射所述物体的所述表面以便在所述物体中产生声波；

利用测量辐射束照射所述物体的所述表面；

接收从所述表面散射的所述测量辐射束的至少一部分；以及

根据在测量时间段内从所述表面散射的所述测量辐射束的至少一部分确定所述物体中所述特征的特性；

其中，所述脉冲泵浦辐射束的时间强度分布被选择成使得在所述测量时间段中信背比大于使用所述脉冲泵浦辐射束的单个脉冲实现的信背比，所述信背比是以下两者的比率：(a)由声波的从所述特征的反射在所述表面处生成的信号与(b)由没有从所述特征反射的声波的反射在所述表面处生成的背景信号。

2.根据权利要求1所述的方法，其中，所述测量时间段对应于由所述脉冲泵浦辐射束的初始脉冲从所述特征反射而不是从所述物体内的任何其它界面反射所生成的声波的部分到达所述表面处的时间段。

3.根据权利要求1或2所述的方法，其中，所述脉冲泵浦辐射束的时间强度分布使得在所述测量时间段中在以下两者之间存在至少部分相长干涉：(i)由第一脉冲生成的声波的反射部分，由所述第一脉冲生成的所述声波的反射部分已经从所述特征反射；和(ii)由第二脉冲生成的声波的反射部分，由所述第二脉冲生成的所述声波的反射部分也已经从所述特征反射。

4.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其中，所述脉冲泵浦辐射束的时间强度分布使得在所述测量时间段中在以下两者之间存在至少部分相消干涉：(i)由没有入射在所述特征上的第一脉冲生成的所述声波的反射部分；和(ii)由没有入射在所述特征上的第二脉冲生成的所述声波的反射部分。

5.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其中，所述脉冲泵浦辐射束的时间强度分布被选择成使得在所述测量时间段中所述信背比通常被最大化。

6.一种用于确定物体中特征的特性的设备，所述特征被设置在所述物体的表面下方，所述设备包括：

泵浦辐射源，所述泵浦辐射源能够操作以利用脉冲泵浦辐射束照射所述物体的所述表面以便在所述物体中产生声波；

测量辐射源，所述测量辐射源能够操作以利用测量辐射束照射所述物体的所述表面；和

测量系统，所述测量系统能够操作以接收从所述表面散射的所述测量辐射束的至少一部分且还能够操作以根据在测量时间段内从所述表面散射的所述测量辐射束的至少一部分确定所述物体中所述特征的特性；

其中，所述泵浦辐射源布置成使得所述脉冲泵浦辐射束的时间强度分布使得在所述测量时间段中信背比大于使用所述脉冲泵浦辐射束的单个脉冲实现的信背比，所述信背比是以下两者的比率：(a)由声波的从所述特征的反射在所述表面处生成的信号与(b)由没有从所述特征反射的声波的反射在所述表面处生成的背景信号。

7.一种用于确定脉冲泵浦辐射束的时间强度分布的方法，用于利用脉冲泵浦辐射束照射物体的具有设置于下方的特征的表面，以便在所述物体中产生声波，所述方法包括：

确定所述脉冲泵浦辐射束的时间强度分布，使得在测量时间段中信背比大于使用所述脉冲泵浦辐射束的单个脉冲实现的信背比，所述信背比是以下两者的比率：(a)由声波的从所述特征的反射在所述表面处生成的信号与(b)由没有从所述特征反射的声波的反射在所述表面处生成的背景信号。

8.一种用于确定脉冲泵浦辐射束的时间强度分布的方法，用于利用脉冲泵浦辐射束照射物体的具有设置于下方的特征的表面，以便在所述物体中产生声波，所述方法包括：

确定所述脉冲泵浦辐射束的时间强度分布，使得在测量时间段中信背比实质上被最大化，所述信背比是以下两者的比率：(a)由声波的从所述特征的反射在所述表面处生成的信号与(b)由没有从所述特征反射的声波的反射在所述表面处生成的背景信号。