[发明专利]静电电容型压力传感器有效
| 申请号： | 201880037106.5 | 申请日： | 2018-06-08 |
| 公开（公告）号： | CN110709683B | 公开（公告）日： | 2021-08-24 |
| 发明（设计）人： | 关根正志;石原卓也;添田将;栃木伟伸 | 申请（专利权）人： | 阿自倍尔株式会社 |
| 主分类号： | G01L27/00 | 分类号： | G01L27/00;G01L9/12;G01L21/00 |
| 代理公司： | 上海华诚知识产权代理有限公司 31300 | 代理人： | 肖华 |
| 地址： | 日本东京都千*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 隔膜真空计(100)具有温度差算出部(14)和异常判定部(15)。温度差算出部(14)求出由控制用温度传感器(9)测定的传感器外壳(4)内的温度t1与由加热器监视用温度传感器(10)测定的加热器(5)的温度t2的温度差Δt。在由温度差算出部(14)求出的温度差Δt超过存储在异常判断用阈值存储部(16)中的异常判断用的阈值Δtth的情况下，异常判定部(15)判定为在加热器(5)中出现了异常的征兆。由此，能够早期发现加热器(5)的异常。 | ||
| 搜索关键词： | 静电 电容 压力传感器 | ||
【主权项】：
1.一种静电电容型压力传感器，其特征在于，具备：/n传感器芯片，其具有受到被测定介质的压力而弯曲的膜片、和构成为将所述膜片的位移转换为静电电容的变化的电极；/n壳体，其收容有所述传感器芯片；/n压力导入管，其与所述壳体连接，并将所述被测定介质的压力引导至所述膜片；/n传感器外壳，其覆盖所述壳体；/n加热器，其以包围所述传感器外壳的外周面的方式设置；/n第1温度传感器，其测定所述传感器外壳内的温度；/n第2温度传感器，其测定所述加热器的温度；/n加热器控制部，其构成为控制向所述加热器的供给电流，以使由所述第1温度传感器测定的所述传感器外壳内的温度成为规定的设定温度；/n温度差算出部，其构成为求出由所述第1温度传感器测定的所述传感器外壳内的温度与由所述第2温度传感器测定的所述加热器的温度的温度差；以及/n异常判定部，其构成为根据由所述温度差算出部求出的温度差，判定所述加热器有无异常。/n
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于阿自倍尔株式会社，未经阿自倍尔株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201880037106.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：应变仪和多轴力传感器
- 下一篇：气体泄漏检测系统以及气体泄漏检测方法
