[发明专利]静电电容型压力传感器

权利要求书

1.一种静电电容型压力传感器，其特征在于，具备：

传感器芯片，其具有受到被测定介质的压力而弯曲的膜片、和构成为将所述膜片的位移转换为静电电容的变化的电极；

壳体，其收容有所述传感器芯片；

压力导入管，其与所述壳体连接，并将所述被测定介质的压力引导至所述膜片；

传感器外壳，其覆盖所述壳体；

加热器，其以包围所述传感器外壳的外周面的方式设置；

第1温度传感器，其测定所述传感器外壳内的温度；

第2温度传感器，其测定所述加热器的温度；

加热器控制部，其构成为控制向所述加热器的供给电流，以使由所述第1温度传感器测定的所述传感器外壳内的温度成为规定的设定温度；

温度差算出部，其构成为求出由所述第1温度传感器测定的所述传感器外壳内的温度与由所述第2温度传感器测定的所述加热器的温度的温度差；以及

异常判定部，其构成为根据由所述温度差算出部求出的温度差，判定所述加热器有无异常。

2.根据权利要求1所述的静电电容型压力传感器，其特征在于，还具备：

第3温度传感器，其测定所述静电电容型压力传感器的周围的温度；以及

温度差校正部，其构成为根据由所述第3温度传感器测定的周围的温度，校正由所述温度差算出部求出的温度差，

所述异常判定部构成为根据由所述温度差校正部校正的温度差，判定所述加热器有无异常。

3.根据权利要求2所述的静电电容型压力传感器，其特征在于，

所述第3温度传感器构成为将放置有所述静电电容型压力传感器的恒温槽内的温度作为所述周围的温度进行测定。

4.根据权利要求2所述的静电电容型压力传感器，其特征在于，

所述第3温度传感器构成为将搭载有所述加热器控制部、所述温度差算出部以及所述异常判定部的电路基板的周边的温度作为所述周围的温度进行测定。

5.根据权利要求1～4中的任一项所述的静电电容型压力传感器，其特征在于，

所述异常判定部构成为判定所述加热器中是否出现异常征兆作为所述加热器有无异常。

6.根据权利要求1～4中的任一项所述的静电电容型压力传感器，其特征在于，

所述异常判定部构成为判定所述加热器中是否发生了需要更换的异常作为所述加热器有无异常。

7.根据权利要求1所述的静电电容型压力传感器，其特征在于，

所述异常判定部构成为在判定为所述加热器异常时，输出警报。