[发明专利]用于反射或透射扫描仪射束的扫描头设备和方法、具有扫描头设备的扫描设备和扫描仪在审
| 申请号： | 201880036299.2 | 申请日： | 2018-06-07 |
| 公开（公告）号： | CN110678290A | 公开（公告）日： | 2020-01-10 |
| 发明（设计）人： | 蒂姆·巴尔德希芬 | 申请（专利权）人： | 业纳光学系统有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/02 | 分类号： | B23K26/02;B23K26/03;B23K26/352;G02B26/10 |
| 代理公司： | 31002 上海智信专利代理有限公司 | 代理人： | 邓琪 |
| 地址： | 德国耶拿市0*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明提出的方案涉及一种扫描头设备(205)，用于反射或透射用于扫描仪的射束(210，215，275)。该扫描头设备(205)具有至少一个分束器装置(220)。该分束器装置(220)被形成且布置为用于完全反射该扫描仪的具有加工波长的加工光(210)，其中该分束器装置(220)被形成且布置为用于使观察光(215)从工件(225)透射穿过该分束器装置(220)。 | ||
| 搜索关键词： | 分束器装置 扫描头 扫描仪 透射 反射 波长 射束 加工 穿过 观察 | ||
【主权项】：
1.一种扫描头设备(205)，用于反射或透射用于扫描仪的射束(210，215，275)，其中该扫描头设备(205)至少包括以下特征：/n至少一个分束器装置(220)，该分束器装置被形成且布置为用于完全反射该扫描仪的具有加工波长的加工光(210)，其中该分束器装置(220)被形成且布置为用于使观察光(215)从工件(225)透射穿过该分束器装置(220)。/n
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