[发明专利]用于反射或透射扫描仪射束的扫描头设备和方法、具有扫描头设备的扫描设备和扫描仪

权利要求书

1.一种扫描头设备(205)，用于反射或透射用于扫描仪的射束(210，215，275)，其中该扫描头设备(205)至少包括以下特征：

至少一个分束器装置(220)，该分束器装置被形成且布置为用于完全反射该扫描仪的具有加工波长的加工光(210)，其中该分束器装置(220)被形成且布置为用于使观察光(215)从工件(225)透射穿过该分束器装置(220)。

2.根据权利要求1所述的扫描头设备(205)，该扫描头设备具有反射镜装置(230)，该反射镜装置被形成且布置为用于将由激光装置(235)产生的具有加工波长的加工光(210)反射到该分束器装置(220)。

3.根据权利要求1至2之一所述的扫描头设备(205)，其中至少该分束器装置(220)被布置为能够移动。

4.一种扫描设备(200)，该扫描设备具有根据权利要求1至3之一所述的扫描头设备(205)以及观察装置(240)，该观察装置具有至少一个传感器装置(245)，该传感器装置被形成为用于读取透射穿过该分束器装置(220)的观察光(247)。

5.根据权利要求4所述的扫描设备(200)，其中该观察装置(240)包括至少一个另外的反射镜装置(250)，该另外的反射镜装置被形成为用于将经透射的观察光(247)反射到该传感器装置(245)。

6.根据权利要求4至5之一所述的扫描设备(200)，其中该观察装置(240)包括至少一个另外的传感器装置(255)，该另外的传感器装置被形成为用于读取从物镜(260)透射穿过该分束器装置(220)的另外的观察光，尤其其中该观察装置(240)包括额外的反射镜装置(265)，该额外的反射镜装置被形成为用于将该另外的观察光反射到该另外的传感器装置(255)。

7.根据权利要求4至6之一所述的扫描设备(200)，该扫描设备具有照明装置(270)，该照明装置被形成为用于以一定图案向该工件(225)上产生照明光(275)。

8.根据权利要求7所述的扫描设备(200)，其中至少该分束器装置(220)和/或该另外的反射镜装置(250)和/或该额外的反射镜装置(265)被形成且布置为用于在该工件(225)的方向上透射该照明光(275)。

9.根据权利要求4至8之一所述的扫描设备(200)，该扫描设备具有物镜(260)，尤其其中该扫描头设备(205)布置在该观察装置(240)与该物镜(260)之间。

10.根据权利要求4至9之一所述的扫描设备(200)，该扫描设备具有用于产生该加工光(210)的激光装置(235)。

11.一种扫描仪、尤其2D扫描仪，具有根据权利要求1至3之一所述的扫描头设备(205)。

12.一种方法(400)，用于反射或透射用于扫描仪的射束(210，215，275)，其中该方法(400)至少包括以下步骤：

向分束器装置(220)提供(405)具有加工波长的加工光(210)，该分束器装置被形成且布置为用于将该加工光(210)完全反射到工件(225)上；以及

从该工件(225)向该分束器装置(220)发出(410)观察光(215)，该分束器装置被形成为用于使该观察光(215)透射穿过该分束器装置(220)。

13.根据权利要求12所述的方法(400)，其中在该提供步骤(405)中提供该加工光(210)，该加工光被形成为用于提供该观察光(215)。

14.一种计算机程序，该计算机程序被配置为用于控制和/或实施根据权利要求12至13之一所述的方法(400)。