[发明专利]溅射靶材、溅射靶、溅射靶用铝板及其制造方法有效
| 申请号： | 201880035775.9 | 申请日： | 2018-06-21 |
| 公开（公告）号： | CN110709532B | 公开（公告）日： | 2021-07-16 |
| 发明（设计）人： | 竹田博贵;藤田昌宏 | 申请（专利权）人： | 株式会社UACJ;住友化学株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C22F1/04;C22F1/00 |
| 代理公司： | 北京汇思诚业知识产权代理有限公司 11444 | 代理人： | 李海龙;龚敏 |
| 地址： | 日本国东京都千*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
溅射靶材(2)由纯度为99.999质量％以上的铝和不可避免的杂质构成。在将板表面(21)的平均晶粒直径设为D |
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| 搜索关键词： | 溅射 靶用铝板 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种溅射靶材，由纯度为99.999质量％以上的铝和不可避免的杂质构成，/n在将板表面的平均晶粒直径设为D
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