[发明专利]磁传感器及磁传感器的制造方法在审

专利信息
申请号: 201880035561.1 申请日: 2018-04-06
公开(公告)号: CN110678768A 公开(公告)日: 2020-01-10
发明(设计)人: 远藤大三 申请(专利权)人: 昭和电工株式会社
主分类号: G01R33/06 分类号: G01R33/06;H01L43/00
代理公司: 11256 北京市金杜律师事务所 代理人: 杨宏军;李国卿
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 磁传感器1具备:薄膜磁铁20,其由硬磁体构成,并且在面内方向上具有磁各向异性;感应部30,其具备感应磁场变化的感应元件31,所述感应元件31由软磁体构成,并且与薄膜磁铁20相对配置,所述感应元件31具有长边方向和短边方向,长边方向为薄膜磁铁产生的磁通量穿过的方向,并且在与长边方向交叉的方向上具有单轴磁各向异性;和控制层102,其相对于薄膜磁铁20被配置在设置有感应元件31这侧的相反侧,并将薄膜磁铁20的磁各向异性控制在面内方向。
搜索关键词: 薄膜磁铁 感应元件 长边 磁各向异性 内方向 单轴磁各向异性 磁传感器 方向交叉 感应磁场 相对配置 磁通量 感应部 控制层 软磁体 相反侧 硬磁体 短边 穿过 配置
【主权项】:
1.磁传感器,其具备:/n薄膜磁铁,其由硬磁体构成,并且在面内方向上具有磁各向异性;/n感应部,其具备感应磁场变化的感应元件,所述感应元件由软磁体构成,并且与所述薄膜磁铁相对配置,所述感应元件具有长边方向和短边方向,所述长边方向为所述薄膜磁铁产生的磁通量穿过的方向,并且在与所述长边方向交叉的方向上具有单轴磁各向异性;和/n控制层,其相对于所述薄膜磁铁被配置在设置有所述感应元件这侧的相反侧,并将所述薄膜磁铁的磁各向异性控制在面内方向。/n
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