[发明专利]MEMS声音传感器、MEMS麦克风及电子设备有效
| 申请号： | 201880028690.8 | 申请日： | 2018-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN110603819B | 公开（公告）日： | 2020-12-22 |
| 发明（设计）人： | 何宪龙;谢冠宏;邱士嘉 | 申请（专利权）人： | 共达电声股份有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 戴志攀 |
| 地址： | 261200 山*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 一种MEMS声音传感器，用于通过空气声压变化和机械振动中的至少一种来检测声音，所述MEMS声音传感器包括：背板；振膜，与所述背板相对设置且与所述背板之间存在间隙；所述振膜与所述背板构成电容结构；以及连接柱，包括相对设置的第一端和第二端；所述连接柱的第一端与所述背板固定连接；所述连接柱的第二端与所述振膜的中间区域电性连接，以将所述振膜悬挂于所述背板上；其中，所述振膜的边缘区域设置有至少一个质量块；所述背板上设置有开口；所述开口用于以裸露所述质量块以使得所述质量块与所述背板之间存在间隙，或者所述开口作为所述背板上的声孔。 | ||
| 搜索关键词： | mems 声音 传感器 麦克风 电子设备 | ||
【主权项】：
1.一种MEMS声音传感器，用于通过空气声压变化和机械振动中的至少一种来检测声音，所述MEMS声音传感器包括：/n背板；/n振膜，与所述背板相对设置且与所述背板之间存在间隙；所述振膜与所述背板构成电容结构；以及/n连接柱，包括相对设置的第一端和第二端；所述连接柱的第一端与所述背板固定连接；所述连接柱的第二端与所述振膜的中间区域电性连接，以将所述振膜悬挂于所述背板上；/n其中，所述振膜的边缘区域设置有至少一个质量块；所述背板上设置有开口；所述开口用于裸露所述质量块以使得所述质量块与所述背板之间存在间隙，或者所述开口作为所述背板上的声孔。/n
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