[发明专利]MEMS声音传感器、MEMS麦克风及电子设备

说明书

一种MEMS声音传感器，用于通过空气声压变化和机械振动中的至少一种来检测声音，所述MEMS声音传感器包括：背板；振膜，与所述背板相对设置且与所述背板之间存在间隙；所述振膜与所述背板构成电容结构；以及连接柱，包括相对设置的第一端和第二端；所述连接柱的第一端与所述背板固定连接；所述连接柱的第二端与所述振膜的中间区域电性连接，以将所述振膜悬挂于所述背板上；其中，所述振膜的边缘区域设置有至少一个质量块；所述背板上设置有开口；所述开口用于以裸露所述质量块以使得所述质量块与所述背板之间存在间隙，或者所述开口作为所述背板上的声孔。

技术领域

本发明涉及麦克风技术领域，特别是涉及一种MEMS声音传感器及其制备方法、MEMS麦克风及电子设备。

背景技术

MEMS(Micro-Electro-Mechanical System，微机电系统)麦克风是基于MEMS技术制造的电能换声器，具有体积小、频响特性好以及噪声低等优点。随着电子设备的小型化发展，MEMS麦克风被越来越广泛地运用到这些设备上。MEMS声音传感器是MEMS麦克风中的关键器件，其性能直接影响整个MEMS麦克风的性能。传统的MEMS声音传感器的灵敏度较低，无法满足用户的使用需求。

发明内容

根据本申请的各种实施例，提供一种MEMS声音传感器、MEMS麦克风及电子设备。

一种MEMS声音传感器，用于通过空气声压变化和机械振动中的至少一种来检测声音，所述MEMS声音传感器包括：

背板；

振膜，与所述背板相对设置且与所述背板之间存在间隙；所述振膜与所述背板构成电容结构；以及

连接柱，包括相对设置的第一端和第二端；所述连接柱的第一端与所述背板固定连接；所述连接柱的第二端与所述振膜的中间区域电性连接，以将所述振膜悬挂于所述背板上；

其中，所述振膜的边缘区域设置有至少一个质量块；所述背板上设置有开口；所述开口用于以裸露所述质量块以使得所述质量块与所述背板之间存在间隙，或者所述开口作为所述背板上的声孔。

一种MEMS麦克风，包括印刷电路板、设置于所述印刷电路板上的MEMS声音传感器和设置于所述印刷电路板上的集成电路；所述MEMS麦克风采用如前述任一实施例所述的MEMS声音传感器。

一种电子设备，包括设备本体以及设置在所述设备本体上的MEMS麦克风；所述MEMS麦克风采用如前所述的MEMS麦克风。

本申请的一个或多个实施例的细节在下面的附图和描述中提出。本申请的其他特征、目的和优点将从说明书、附图以及权利要求书变得明显。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他实施例的附图。

图1为第一实施例中的MEMS声音传感器的剖视图。

图2为第二实施例中的MEMS声音传感器的剖视图。

图3为第三实施例中的MEMS声音传感器的剖视图。

图4为第四实施例中的MEMS声音传感器的剖视图。

图5为一实施例中形成质量块中的第二子部分的示意图。

图6为第五实施例中的MEMS声音传感器的剖视图。

图7为一实施例中的振膜的结构示意图。

图8为一实施例中的MEMS麦克风的结构示意图。