[发明专利]通过角度可变照明来进行材料测试有效
| 申请号： | 201880027283.5 | 申请日： | 2018-04-23 |
| 公开（公告）号： | CN110662940B | 公开（公告）日： | 2022-07-12 |
| 发明（设计）人： | L.斯托普;T.米尔德;M.托特泽克 | 申请（专利权）人： | 卡尔蔡司工业测量技术有限公司;卡尔蔡司显微镜有限责任公司 |
| 主分类号： | G01B11/25 | 分类号： | G01B11/25;G01N21/88;G01N21/956;G06T7/00 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 王蕊瑞 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种光学系统(100)，该光学系统包括照明模块(111)，该照明模块被设计用于以至少一个角度可变的照明几何形状来照射样本物体(180，181)。该光学系统还包括：成像光学单元，该成像光学单元被设置用于在检测器(114)上产生以该至少一个角度可变的照明几何形状照射的该样本物体(180，181)的成像表示；以及该检测器(114)，该检测器被设计用于基于该成像表示来捕捉该样本物体(180，181)的至少一个图像。该光学系统进一步包括控制器，该控制器被设置用于基于传递函数和该至少一个图像来确定结果图像。 | ||
| 搜索关键词： | 通过 角度 可变 照明 进行 材料 测试 | ||
【主权项】：
1.一种光学系统(100)，包括：/n-照明模块(111)，该照明模块被设置用于以至少一个角度可变的照明几何形状(300)来照射样本物体(180，181)，/n-成像光学单元(112)，该成像光学单元被设置用于在检测器(114)上产生以该至少一个角度可变的照明几何形状(300)照射的该样本物体(180，181)的成像表示，/n-该检测器(114)，该检测器被设置用于基于该成像表示来捕捉该样本物体(180，181)的至少一个图像，以及/n-控制器(115)，该控制器被设置用于基于传递函数(400)和该至少一个图像来确定结果图像。/n
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