[发明专利]通过角度可变照明来进行材料测试

权利要求书

1.一种光学系统(100)，包括：

-照明模块(111)，该照明模块被设置用于以至少一个角度可变的照明几何形状(300)来照射样本物体(180，181)，

-成像光学单元(112)，该成像光学单元被设置用于在检测器(114)上产生以该至少一个角度可变的照明几何形状(300)照射的该样本物体(180，181)的成像表示，

-该检测器(114)，该检测器被设置用于基于该成像表示来捕捉该样本物体(180，181)的至少一个图像，以及

-控制器(115)，该控制器被设置用于基于传递函数(400)和该至少一个图像来确定结果图像，

其中，该传递函数能够用于基于用该至少一个角度可变的照明几何形状捕捉的该至少一个图像来确定该结果图像，该结果图像能够包含该样本物体的高度轮廓。

2.如权利要求1所述的光学系统(100)，

其中，该照明模块(111)和该检测器(114)被布置成反射光几何形状。

3.如权利要求1或2所述的光学系统(100)，

其中，该照明模块(111)被设置用于以暗场几何形状来照射该样本物体(180，181)。

4.如权利要求1或2所述的光学系统(100)，

其中，该控制器(115)还被设置用于检测该结果图像中的异常，

其中，这些异常包括该结果图像的对比度的极值。

5.如权利要求1或2所述的光学系统(100)，

其中，该控制器(115)还被设置用于检测该结果图像中的异常，

其中，这些异常包括与该样本物体(180，181)的真实空间图案的偏差。

6.如权利要求5所述的光学系统(100)，

其中，该控制器(115)被设置用于基于以下技术中的至少一种技术来确定与该样本物体(180，181)的真实空间图像的偏差：傅里叶空间滤波；自相关作用；与该真实空间图案的参考图像的偏差。

7.如权利要求1或2所述的光学系统(100)，

其中，该传递函数(400)针对在该成像光学单元(112)的单倍孔径或两倍孔径内的空间频率没有小于该传递函数(400)针对在该成像光学单元(112)的单倍孔径或两倍孔径内的空间频率的所有绝对值中的最大值的5％的绝对值。

8.如权利要求7所述的光学系统(100)，

其中，该传递函数(400)针对在该成像光学单元(112)的单倍孔径或两倍孔径内的空间频率没有小于该传递函数(400)针对在该成像光学单元(112)的单倍孔径或两倍孔径内的空间频率的所有绝对值中的最大值的2％的绝对值。

9.如权利要求7所述的光学系统(100)，

其中，该传递函数(400)针对在该成像光学单元(112)的单倍孔径或两倍孔径内的空间频率没有小于该传递函数(400)针对在该成像光学单元(112)的单倍孔径或两倍孔径内的空间频率的所有绝对值中的最大值的0.5％的绝对值。

10.如权利要求1或2所述的光学系统(100)，

其中，该传递函数(400)针对在该成像光学单元(112)的孔径内的空间频率没有局部极值。

11.如权利要求1或2所述的光学系统(100)，

其中，该传递函数(400)是根据多个角度可变的照明几何形状(300)来确定的。

12.如权利要求1或2所述的光学系统(100)，

其中，该传递函数(400)是阶梯函数。

13.如权利要求1或2所述的光学系统(100)，

其中，该传递函数(400)是单调递增函数或单调递减函数，可选地是线性函数或S型函数。