[发明专利]固体颗粒源、处理系统和方法在审
| 申请号： | 201880027111.8 | 申请日： | 2018-04-25 |
| 公开（公告）号： | CN110573648A | 公开（公告）日： | 2019-12-13 |
| 发明（设计）人： | 迈克·菲卢夫 | 申请（专利权）人： | 冯·阿登纳资产股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/30 | 分类号： | C23C14/30;B05D1/06 |
| 代理公司： | 11332 北京品源专利代理有限公司 | 代理人： | 王小衡;王朝辉 |
| 地址： | 德国德*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及固体颗粒源(100a，100b)的各种实施例，其可以包括：容器(104)，所述容器(104)包含用于接收固体颗粒的区域；至少一个电子源(106)，所述至少一个电子源(106)用于以这样的方式将电子引入到所述固体颗粒中，即，所述固体颗粒的通过所述电子引起的静电充电使所述固体颗粒彼此分离，并且使它们在离开所述容器(104)的方向上加速；振动源(110)，所述振动源(110)被构造为将振动耦合到所述区域中以便使所述固体颗粒松散；其中所述电子源包括用于将电子发射到真空发射区域中的发射表面。 | ||
| 搜索关键词： | 电子源 振动源 彼此分离 电子发射 发射表面 发射区域 静电充电 振动耦合 松散 引入 | ||
【主权项】：
1.一种固体颗粒源(100a，100b)，包括：/n·容器(104)，所述容器(104)包含用于接收固体颗粒的区域；/n·至少一个电子源(106)，所述至少一个电子源(106)用于以这样的方式将电子引入到所述固体颗粒中，即，所述固体颗粒的通过所述电子引起的静电充电使所述固体颗粒彼此分离，并且使它们在离开所述容器(104)的方向上加速；/n·振动源(110)，所述振动源(110)被构造为将振动耦合到所述区域中以便使所述固体颗粒松散；/n其中所述电子源包括用于将电子发射到真空发射区域中的发射表面。/n
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