[发明专利]固体颗粒源、处理系统和方法

权利要求书

1.一种固体颗粒源(100a，100b)，包括：

·容器(104)，所述容器(104)包含用于接收固体颗粒的区域；

·至少一个电子源(106)，所述至少一个电子源(106)用于以这样的方式将电子引入到所述固体颗粒中，即，所述固体颗粒的通过所述电子引起的静电充电使所述固体颗粒彼此分离，并且使它们在离开所述容器(104)的方向上加速；

·振动源(110)，所述振动源(110)被构造为将振动耦合到所述区域中以便使所述固体颗粒松散；

其中所述电子源包括用于将电子发射到真空发射区域中的发射表面。

2.根据权利要求1所述的固体颗粒源(100a，100b)，

其中所述振动源(110)包括机电换能器。

3.根据权利要求1或2所述的固体颗粒源(100a，100b)，

其中所述振动源(110)包括电线圈。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的固体颗粒源(100a，100b)，

其中所述振动源(110)包括邻接所述区域的膜片(104m)。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的固体颗粒源(100a，100b)，

其中所述振动源(110)被构造为将在所述区域外部产生的电磁振动传送到所述容器(104)中。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的固体颗粒源(100a，100b)，

其中所述振动源(110)被构造为将在所述区域外部产生的机械振动传送到所述容器(104)中和/或所述容器(104)上。

7.一种处理系统，包括：

·根据权利要求1至6中任一项所述的固体颗粒源(100a，100b)；以及

·收集装置(108)，所述收集装置(108)用于收集被加速离开所述区域的固体颗粒。

8.根据权利要求7所述的处理系统，

其中所述收集装置(108)包括基板座，所述基板座用于夹持将被涂布的基板，其中所述基板的基板表面在所述区域的所述方向上。

9.根据权利要求7或8所述的处理系统，

其中所述收集装置(108)包括附加容器(104)，并且被构造为借助于所述附加容器(104)收集固体颗粒和/或将它们输送到所述附加容器(104)。

10.根据权利要求7至9中任一项所述的处理系统，进一步包括：

真空室，所述区域和/或所述收集装置(110)被布置在所述真空室中。

11.根据权利要求7至10中任一项所述的处理系统，进一步包括：

涂布区域(111)，所述涂布区域(111)布置在所述收集装置(108)和所述固体颗粒源(100a，100b)之间，或者所述收集装置(108)被布置在所述涂布区域(111)中；

材料蒸汽源(114)，所述材料蒸汽源(114)被构造为将材料蒸汽发射到所述涂布区域(111)中。

12.一种方法(500)，包括：

·在固体颗粒被布置于其中的区域中产生(501)真空；

·将电子发射到所述真空中；

·以这样的方式将所述电子的至少一部分引入(503)到所述固体颗粒中，即，所述固体颗粒的通过所述电子引起的静电充电使所述固体颗粒彼此分离，并且使它们加速离开所述区域；并且

·将振动耦合(505)到布置在所述区域中的固体颗粒中。

13.一种方法(600)，包括：

·在固体颗粒被布置于其中的区域中产生(601)真空，其中有机材料此外也被布置在所述区域中，所述有机材料使所述固体颗粒中的至少一些在空间上彼此分离；

·以这样的方式将电子引入(603)到所述固体颗粒中，即，所述固体颗粒的通过所述电子引起的静电充电使所述固体颗粒彼此分离，并且使它们加速离开所述区域。