[发明专利]等离子体产生器、等离子体处理设备及电力脉冲供应方法有效
| 申请号： | 201880023582.1 | 申请日： | 2018-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN110494949B | 公开（公告）日： | 2022-04-29 |
| 发明（设计）人： | 夕巴斯汀·哈柏特斯·舒兹;汤玛斯·沛尔瑙;弗洛里安·那把尔;菲力克斯·华克 | 申请（专利权）人： | 商先创国际股份有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 杨文娟;臧建明 |
| 地址： | 德国布劳博伊伦福特伯*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及等离子体产生器、等离子体处理设备及电力脉冲供应方法。等离子体产生器包括：控制单元，配置为获得及评估有关至少两个制程室中的制程的制程数据；具有输出的可控制的供电单元，配置为在其输出上以响应控制单元的控制信号的方式输出直流电；以及切换单元，具有用于各自与制程室中的一个连接的至少两个切换单元输出。切换单元配置为形成作为输出信号的交流电，且以响应控制信号的方式，将输出信号输出至切换单元输出中。控制单元配置为协调制程室的功率需求且驱动供电单元及切换单元，使得在各与制程室连接的切换单元输出上将与功率需求对应的功率在一时间段作为脉冲提供，各制程室的脉冲在时间上相互错开，使得制程室能够同步工作。 | ||
| 搜索关键词： | 等离子体 产生器 处理 设备 电力 脉冲 供应 方法 | ||
【主权项】：
1.一种等离子体产生器，用于向至少两个制程室脉冲供应具有至少40KHz频率的电力，所述等离子体产生器包括：/n控制单元，其配置为获得及评估有关所述至少两个制程室中的制程的制程数据；/n具有输出的可控制的供电，所述可控制的供电配置为在其输出上以响应自所述控制单元的控制信号的方式输出具有预定的电压和/或强度的直流电；以及/n切换单元，其具有第一输入，所述第一输入与所述供电的所述输出连接，并且具有至少两个切换单元输出，用于各自与所述至少两个制程室中的一个连接；/n其中所述切换单元配置为自所述输入上的直流电形成具有预定的至少40KHz的频率的交流电作为输出信号，并且以响应所述控制单元的控制信号的方式，将所述输出信号作为脉冲选择性地在预定的脉冲持续时间内输出至所述切换单元输出中的一个；/n其中所述控制单元配置为协调所述至少两个制程室的功率需求，并且驱动所述供电以及所述切换单元以使得在各与所述制程室连接的所述切换单元输出上皆实质上将与所述功率需求对应的功率在一时间段内作为脉冲提供，其中各所述制程室的脉冲在时间上如此相互错开，使得所述制程室能够同步工作。/n
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