[发明专利]等离子体产生器、等离子体处理设备及电力脉冲供应方法

权利要求书

1.一种等离子体产生器，用于向至少两个制程室脉冲供应具有至少40KHz频率的电力，所述等离子体产生器包括：

控制单元，其配置为获得及评估有关所述至少两个制程室中的制程的制程数据；

具有输出的可控制的供电，所述可控制的供电配置为在其输出上以响应自所述控制单元的控制信号的方式输出具有预定的电压和/或强度的直流电；以及

切换单元，其具有第一输入，所述第一输入与所述供电的所述输出连接，并且具有至少两个切换单元输出，用于各自与所述至少两个制程室中的一个连接；

其中所述切换单元配置为自所述输入上的直流电形成具有预定的至少40KHz的频率的交流电作为输出信号，并且以响应所述控制单元的控制信号的方式，将所述输出信号作为脉冲选择性地在预定的脉冲持续时间内输出至所述切换单元输出中的一个；

其中所述控制单元配置为协调所述至少两个制程室的功率需求，并且驱动所述供电以及所述切换单元以使得在各与所述制程室连接的所述切换单元输出上皆实质上将与所述功率需求对应的功率在一时间段内作为脉冲提供，其中各所述制程室的脉冲在时间上如此相互错开，使得所述制程室能够同步工作；且

其中所述切换单元具有至少一切换单元输出，其被配置为用于连接至吸收器，且所述切换单元被配置为以响应输入的控制信号的方式，选择性地在预定的脉冲持续时间将输出信号作为脉冲施加至用于所述吸收器的所述切换单元输出。

2.一种等离子体产生器，用于向至少三个制程室脉冲供应具有至少40KHz频率的电力，所述等离子体产生器包括：

控制单元，其配置为获得及评估有关所述至少三个制程室中的制程的制程数据；

具有输出的第一可控制的供电，所述第一可控制的供电配置为在其输出上以响应自所述控制单元的控制信号的方式输出具有预定的电压和/或强度的直流电；

具有输出的第二可控制的供电，所述第二可控制的供电配置为在其输出上以响应自所述控制单元的控制信号的方式输出具有预定的电压和/或强度的直流电；以及

切换单元，包括：

第一切换单元，其具有连接到所述第一可控制的供电的所述输出，并且具有用于各自与所述至少三个制程室中的一个连接的至少三个切换单元输出；以及

第二切换单元，其具有连接到所述第二可控制的供电的所述输出，并且具有用于各自与所述至少三个制程室中的一个连接的至少三个切换单元输出；

其中所述切换单元各自配置为自输入上的直流电形成具有预定的至少40KHz的频率的交流电作为输出信号，并且以响应自所述控制单元的控制信号的方式，选择性地在预定的脉冲持续时间将所述输出信号作为脉冲输出至所述切换单元输出中的一个；

其中所述控制单元配置为协调所述至少三个制程室的功率需求，并且驱动所述供电以及所述第一切换单元和所述第二切换单元，使得在与所述制程室连接的所述切换单元输出中的每个上皆实质上将与所述功率需求对应的功率随时间作为脉冲提供，其中通过用于各所述制程室中的一些制程室的切换单元中的一者提供的所述脉冲在时间上相互错开，而两个切换单元的所述脉冲则重叠。

3.根据权利要求1或2所述的等离子体产生器，其中所述控制单元具有数个与待连接至所述切换单元的制程单元的数目对应的控制器，其中每个所述控制器配置为获得有关所述制程室中的一个中的制程的制程数据，其中每个所述控制器与所述供电和/或所述切换单元连接，从而以响应接收的制程数据的方式控制这些元件。

4.根据权利要求3所述的等离子体产生器，其中所述控制器建构为独立的软件模块，所述软件模块可在所述等离子体产生器的同一处理器上或不同的处理器上执行。

5.根据权利要求1或2所述的等离子体产生器，其还具有至少一电弧抑制单元，所述电弧抑制单元配置为获得并实时评估有关所述至少三个制程室中的制程的当前制程数据以及所述供电和/或所述切换单元的当前数据，用以检测电弧或即将发生的电弧，其中所述电弧抑制单元与所述供电和/或所述切换单元连接，用以响应检测的电弧或即将发生的电弧以控制这些元件。

6.根据权利要求5所述的等离子体产生器，其中所述电弧抑制单元构成所述控制单元的一部分。