[发明专利]对光刻系统进行建模或执行系统的预测性维护的方法和相关联的光刻系统有效
| 申请号： | 201880019789.1 | 申请日： | 2018-02-15 |
| 公开（公告）号： | CN110462536B | 公开（公告）日： | 2022-11-15 |
| 发明（设计）人： | D·E·S·K·斯格特曼思;M·R·A·布伦特;N·H·F·保罗斯·范阿姆斯特尔;E·A·扎尔米杰恩;S·L·沃伊尼亚;G·A·W·S·普罗伊斯廷 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G05B23/02 | 分类号： | G05B23/02 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 崔卿虎 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种用于确定多个参数时间序列中的事件之间的因果关系的方法，该方法包括：标识与参数偏移事件相关联的第一事件，并且标识与故障事件相关联的第二事件，其中存在包括所述第一事件和所述第二事件的多个事件；确定针对成对的所述事件的传递熵的值，以针对每个所述成对的事件建立因果关系；使用所确定的传递熵的值和所标识的因果关系来确定过程网络，其中所述事件中的每个事件是所述过程网络中的节点，节点之间的边缘取决于传递熵的值；标识所述多个事件和所述因果关系内的有向循环；对有向循环进行分类；以及对与经分类的有向循环具有因果关系的一个或多个事件进行分类。 | ||
| 搜索关键词： | 光刻 系统 进行 建模 执行 预测 维护 方法 相关 | ||
【主权项】：
1.一种用于确定与工业过程相关联的多个参数时间序列中的事件之间的因果关系的方法，所述方法包括：/n至少标识与参数偏移事件相关联的第一事件，以及/n至少标识与故障事件相关联的第二事件，其中存在包括所述第一事件和所述第二事件的多个事件；/n确定针对成对的所述事件的传递熵的值，以针对每个所述成对的事件建立因果关系；/n使用所确定的传递熵的值和所标识的因果关系来确定过程网络，其中所述事件中的每个事件是所述过程网络中的节点，节点之间的边缘取决于所确定的传递熵的值；/n标识所述多个事件和所述因果关系内的一个或多个有向循环；/n基于标称系统行为对有向循环进行分类；以及/n基于循环分类来对与经分类的有向循环具有因果关系的一个或多个事件进行分类。/n
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