[发明专利]脆性材料加工液有效
申请号: | 201880018018.0 | 申请日: | 2018-03-15 |
公开(公告)号: | CN110382673B | 公开(公告)日: | 2022-05-31 |
发明(设计)人: | 北村友彦 | 申请(专利权)人: | 出光兴产株式会社 |
主分类号: | C10M173/02 | 分类号: | C10M173/02;B24B27/06;B28D5/04;C10M129/08;C10M145/26;C10N20/00;C10N30/00;C10N30/18;C10N40/22;H01L21/304 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人: | 陈巍;梅黎 |
地址: | 日本东京都千*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明涉及脆性材料加工液、和该脆性材料加工液的制造方法,所述脆性材料加工液包含:水;(A):选自HLB值为4以上且12以下的炔二醇以及HLB值为4以上且12以下的炔二醇的环氧烷烃加成物中的1种以上;以及(B):非离子表面活性剂,其是HLB值为6以上且分子结构中的环氧乙烷的加成摩尔数为5以上的环氧乙烷加成物,并且不具有炔基;成分(A)的含量以脆性材料加工液的总量100质量%基准计为0.010质量%以上且0.200质量%以下,成分(B)的含量以脆性材料加工液的总量100质量%基准计为0.020质量%以上且0.500质量%以下,并且成分(A)与成分(B)的含量比[A/B]以质量比计为0.05以上且2.00以下。 | ||
搜索关键词: | 脆性 材料 加工 | ||
【主权项】:
1.脆性材料加工液,其包含:水;(A):选自HLB值为4以上且12以下的炔二醇以及HLB值为4以上且12以下的炔二醇的环氧烷烃加成物中的1种以上;以及(B):非离子表面活性剂,其是HLB值为6以上且分子结构中的环氧乙烷的加成摩尔数为5以上的环氧乙烷加成物,并且不具有炔基,成分(A)的含量以脆性材料加工液的总量100质量%基准计为0.010质量%以上且0.200质量%以下,成分(B)的含量以脆性材料加工液的总量100质量%基准计为0.020质量%以上且0.500质量%以下,并且成分(A)与成分(B)的含量比[A/B]以质量比计为0.05以上且2.00以下。
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