[发明专利]光组件有效
| 申请号： | 201880017380.6 | 申请日： | 2018-03-14 |
| 公开（公告）号： | CN110402408B | 公开（公告）日： | 2021-08-13 |
| 发明（设计）人： | 铃木智史;港谷恭辅;杉本达哉 | 申请（专利权）人： | 浜松光子学株式会社 |
| 主分类号： | G02B26/08 | 分类号： | G02B26/08;B81B3/00;G01J3/45;G01N21/35 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人： | 杨琦;徐飞跃 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 光组件包括：基体，其具有主面，且设置有安装区域和驱动区域，驱动区域能够使安装区域沿着与主面平行的第一方向移动；可动反射镜，其具有处于与主面交叉的位置关系的反射镜面，且安装于安装区域；第一固定反射镜，其具有处于与主面交叉的位置关系的反射镜面，且相对于基体的位置是固定的；和分束器单元，其与可动反射镜和第一固定反射镜一起构成关于测量光的第一干涉光学系统。可动反射镜的反射镜面和第一固定反射镜的反射镜面朝向第一方向上的一侧。 | ||
| 搜索关键词： | 组件 | ||
【主权项】：
1.一种光组件，其特征在于，包括：基体，其具有主面，且设置有安装区域和驱动区域，所述驱动区域能够使所述安装区域沿着与所述主面平行的第一方向移动；可动反射镜，其具有处于与所述主面交叉的位置关系的反射镜面，且安装于所述安装区域；第一固定反射镜，其具有处于与所述主面交叉的位置关系的反射镜面，且相对于所述基体的位置是固定的；和分束器单元，其与所述可动反射镜和所述第一固定反射镜一起构成关于测量光的第一干涉光学系统，所述可动反射镜的所述反射镜面和所述第一固定反射镜的所述反射镜面朝向所述第一方向上的一侧。
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