[发明专利]光组件

权利要求书

1.一种光组件，其特征在于，包括：

基体，其具有主面，且设置有安装区域和驱动区域，所述驱动区域能够使所述安装区域沿着与所述主面平行的第一方向移动；

可动反射镜，其具有处于与所述主面交叉的位置关系的反射镜面，且安装于所述安装区域；

第一固定反射镜，其具有处于与所述主面交叉的位置关系的反射镜面，且相对于所述基体的位置是固定的；和

分束器单元，其与所述可动反射镜和所述第一固定反射镜一起构成关于测量光的第一干涉光学系统，

所述可动反射镜的所述反射镜面和所述第一固定反射镜的所述反射镜面朝向所述第一方向上的一侧，

所述可动反射镜与所述基体分体形成，并且固定于所述安装区域。

2.根据权利要求1所述的光组件，其特征在于：

在所述安装区域形成有开口，

所述可动反射镜包括：具有所述反射镜面的反射镜部；与所述反射镜部连结的弹性部；和能够与所述弹性部的弹性变形相应地被施加弹力的支承部，

所述支承部在被施加所述弹性部的弹力的状态下被插入所述开口，

所述可动反射镜通过从所述开口的内表面施加于所述支承部的所述弹力的反作用力，而被固定于所述安装区域。

3.根据权利要求1所述的光组件，其特征在于：

所述第一固定反射镜在与所述主面平行且与所述第一方向垂直的第二方向上，位于所述可动反射镜的一侧，

所述驱动区域的至少一部分在从与所述主面垂直的第三方向观察时，位于所述第一固定反射镜的所述第一方向上的所述一侧或另一侧。

4.根据权利要求2所述的光组件，其特征在于：

所述第一固定反射镜在与所述主面平行且与所述第一方向垂直的第二方向上，位于所述可动反射镜的一侧，

所述驱动区域的至少一部分在从与所述主面垂直的第三方向观察时，位于所述第一固定反射镜的所述第一方向上的所述一侧或另一侧。

5.根据权利要求1～4中任一项所述的光组件，其特征在于，

所述分束器单元包括：

半反射镜面，其反射所述测量光的一部分且使所述测量光的其余部分透射；

全反射镜面，其反射由所述半反射镜面反射了的所述测量光的所述一部分，

所述半反射镜面与所述全反射镜面相互平行。

6.根据权利要求1～4中任一项所述的光组件，其特征在于：

所述第一固定反射镜安装于所述基体。

7.根据权利要求1～4中任一项所述的光组件，其特征在于：

所述分束器单元安装于所述基体。

8.根据权利要求1～4中任一项所述的光组件，其特征在于：

还包括光透射部件，所述光透射部件配置在所述分束器单元与所述可动反射镜之间的第一光路和所述分束器单元与所述第一固定反射镜之间的第二光路中的至少一个光路上，修正所述第一光路与所述第二光路之间的光路差。

9.根据权利要求5所述的光组件，其特征在于：

还包括光透射部件，所述光透射部件配置在所述分束器单元与所述可动反射镜之间的第一光路和所述分束器单元与所述第一固定反射镜之间的第二光路中的至少一个光路上，修正所述第一光路与所述第二光路之间的光路差。

10.根据权利要求6所述的光组件，其特征在于：

还包括光透射部件，所述光透射部件配置在所述分束器单元与所述可动反射镜之间的第一光路和所述分束器单元与所述第一固定反射镜之间的第二光路中的至少一个光路上，修正所述第一光路与所述第二光路之间的光路差。

11.根据权利要求7所述的光组件，其特征在于：

还包括光透射部件，所述光透射部件配置在所述分束器单元与所述可动反射镜之间的第一光路和所述分束器单元与所述第一固定反射镜之间的第二光路中的至少一个光路上，修正所述第一光路与所述第二光路之间的光路差。