[发明专利]样品表面成像的方法和装置有效
| 申请号： | 201880015168.6 | 申请日： | 2018-02-22 |
| 公开（公告）号： | CN110537131B | 公开（公告）日： | 2022-05-17 |
| 发明（设计）人： | 彼得·斯皮伊格;德尔·奥拉夫·霍洛瑞彻尔;沃尔弗拉姆·伊巴赫 | 申请（专利权）人： | WITEC威斯森查特利什仪器和技术股份有限公司 |
| 主分类号： | G02B21/00 | 分类号： | G02B21/00;G01J3/44 |
| 代理公司： | 北京中北知识产权代理有限公司 11253 | 代理人： | 焦烨鋆 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种借助共焦显微镜检查对具有形貌的样品表面成像的方法，特别是共焦拉曼和/或荧光显微镜，其中提供了一种用于产生拉曼散射光和/或荧光的激励辐射的装置，特别是第一光源，优选地第一激光光源，以及第二装置，特别是第二光源，优选地第二激光光源或具有独立于第一光源控制的焦点位置的超冷光二极管(SLED)。本发明的特征在于‑所述第一光源发射第一波长范围内的光；‑所述第二光源发射第二波长范围的光；其中所述第一和第二光源的第一和第二波长范围不重叠，并且‑所述第二光源的焦平面借助通过单独控制的焦点位置进入/进入到样品表面上，使得，‑借助所述第二光源的焦点位置信号建立所述样品的形貌，和/或基于该信号使所述样品进入所述第一光源的焦平面。 | ||
| 搜索关键词： | 样品 表面 成像 方法 装置 | ||
【主权项】：
1.一种通过共焦显微镜检查对具有形貌的样品表面成像的方法，特别是共焦拉曼和/或荧光显微镜检查，其中提供了一种用于产生拉曼散射光和/或荧光的激励辐射的装置，特别是第一光源，优选地第一激光光源，以及第二光源，优选地第二激光光源或者具有独立于第一光源控制的焦点位置的超冷光二极管(SLED)，其特征在于：/n—所述第一光源发射第一波长范围内的光；/n—所述第二光源发射第二波长范围内的光；其中，所述第一光源和第二光源的第一波长范围和第二波长范围彼此不重叠；并且/n—所述第二光源的焦平面通过单独控制的焦点位置进入/进入到样品表面上，使得，/n—借助所述第二光源的焦点位置信号确定所述样品的形貌，和/或基于该信号使所述样品进入所述第一光源的焦平面。/n
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于WITEC威斯森查特利什仪器和技术股份有限公司，未经WITEC威斯森查特利什仪器和技术股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201880015168.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：形状记忆合金致动器组件
- 下一篇：凹式MEMS扫描显示器
