[发明专利]样品表面成像的方法和装置有效
申请号: | 201880015168.6 | 申请日: | 2018-02-22 |
公开(公告)号: | CN110537131B | 公开(公告)日: | 2022-05-17 |
发明(设计)人: | 彼得·斯皮伊格;德尔·奥拉夫·霍洛瑞彻尔;沃尔弗拉姆·伊巴赫 | 申请(专利权)人: | WITEC威斯森查特利什仪器和技术股份有限公司 |
主分类号: | G02B21/00 | 分类号: | G02B21/00;G01J3/44 |
代理公司: | 北京中北知识产权代理有限公司 11253 | 代理人: | 焦烨鋆 |
地址: | 德国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 样品 表面 成像 方法 装置 | ||
1.一种通过共焦拉曼和荧光显微检查对具有形貌的样品表面成像的方法,其中提供了一种用于产生拉曼散射光和/或荧光的激励辐射的第一光源,以及第二光源,
其特征在于:
-所述第一光源发射第一波长范围内的光,其中,所述第一波长范围的极限由待检测样品的所发出的荧光光谱和/或拉曼光谱的极限所确定,
-所述第一光源的光通过光学元件被引导到所述样品上,
-所述第二光源发射第二波长范围内的光,其中,所述第二波长范围位于所述第一波长范围之上或之下,而与所述第一波长范围不重叠;并且
-通过光学元件和周期性激励透镜的所述第二光源的光进入到所述样品的表面上,产生周期性焦点,使得
-借助控制/调节装置,从所述第二光源的焦平面的信号以及所述第二光源的被检测光确定所述样品的形貌,并且基于该信号通过光学元件跟踪所述第一光源的焦点并使其应用到所述样品,基于该信号通过光学元件跟踪所述第二光源的周期性焦点的调制范围。
2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于:通过改变显微镜物镜与样品之间的距离,将所述第一光源引入到焦平面。
3.根据权利要求1-2任意一项所述的方法,其特征在于:所述第一光源和第二光源的光均被引导通过相同的显微镜物镜。
4.根据权利要求1所述的方法,其特征在于:所述第二光源的焦平面周期性地改变,并且从在样品表面上的第二光源反射和/或散射光的强度的最大值的时间进程确定所述样品的形貌。
5.根据权利要求1所述的方法,其特征在于:所述周期性激励的透镜是电聚焦透镜,其中通过施加电压或通过电流控制焦距。
6.根据权利要求1所述的方法,其特征在于:通过沿显微镜的光轴方向移动样品进行了在显微镜物镜与样品之间距离的改变。
7.根据权利要求1所述的方法,其特征在于:用于产生拉曼散射光和/或荧光的激励辐射的第一光源,与第二光源,同时发射辐射。
8.根据权利要求7所述的方法,其特征在于,所述辐射为光。
9.根据权利要求1所述的方法,其特征在于:对通过所述第一光源激励的拉曼散射光和/或荧光的测量,以及借助所述第二光源对所述样品形貌的测量基本上同时进行。
10.根据权利要求1所述的方法,其特征在于:所述第一光源包括具有第一焦点尺寸的第一焦点,所述第二光源包括具有第二焦点尺寸的第二焦点,并且所述第一焦点尺寸与所述第二焦点尺寸基本相同。
11.根据权利要求1所述的方法,用于高分辨率测量的使用。
12.根据权利要求11所述的方法,用于拉曼和/或荧光信号在多孔和/或粗糙样品上的使用。
13.根据权利要求1所述的方法,用于测量的使用。
14.根据权利要求13所述的方法,用于拉曼和/或荧光信号在具有热漂移和/或机械漂移的样品上的使用。
15.根据权利要求1所述的方法,用于测量的使用。
16.根据权利要求15所述的方法,用于拉曼和/或荧光信号在干燥的样品或蒸发的液体上的使用。
17.根据权利要求1所述的方法用于同步测量样品上的拉曼和/或荧光信号及表面形貌的使用。
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