[发明专利]确定随机行为对叠加计量数据的影响有效
| 申请号： | 201880014361.8 | 申请日： | 2018-02-27 |
| 公开（公告）号： | CN110383442B | 公开（公告）日： | 2023-10-10 |
| 发明（设计）人： | E·古列维奇;M·E·阿德尔;R·格伦黑德;Y·弗莱;V·莱温斯基;D·克莱因;S·阿哈龙 | 申请（专利权）人： | 科磊股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/66 | 分类号： | H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 刘丽楠 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供用于设计计量目标及相对于例如线性质(例如，线边缘粗糙度LER)的随机噪声来估计计量度量值的不确定性误差的方法。可通过具有对应目标的CDSEM(临界尺寸扫描电子显微镜)或光学系统，从所述线性质的分析及计量测量的不确定性误差导出目标元件的最小所需尺寸。鉴于发现在使用例如CPE(每曝光的可校正项)的更局域化模型时，随机噪声可能具有增大的重要性而强调此分析的重要性。所述不确定性误差估计可用于多种上下文中的目标设计、叠加估计增强及测量可靠性评估。 | ||
| 搜索关键词： | 确定 随机 行为 叠加 计量 数据 影响 | ||
【主权项】：
1.一种方法，其包括：从工艺相关线边缘粗糙度LER的参数导出遵守给定测量不确定性规范所需的目标元件的最小尺寸的估计，及设计计量目标以具有符合所述经估计的最小尺寸的目标设计参数，其中所述导出及所述设计中的至少一者是由至少一个计算机处理器执行。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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