[发明专利]光刻设备和方法有效
| 申请号： | 201880013042.5 | 申请日： | 2018-01-30 |
| 公开（公告）号： | CN110312970B | 公开（公告）日： | 2022-08-30 |
| 发明（设计）人： | B.利鲍格;F-J.斯蒂克尔;J.霍夫曼;D.杜尔 | 申请（专利权）人： | 卡尔蔡司SMT有限责任公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 任丽荣 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种光刻设备(100B)，其具有光学元件(202)，与所述光学元件(202)耦连的接口(204)，与所述接口(204)分开的构件(208)，所述构件直接地以形状配合和/或力配合方式与所述光学元件(202)连接，其中，所述光学元件(202)具有啮合部段(210)并且所述构件(208)具有对应啮合部段(232)，所述对应啮合部段设置为啮合到所述啮合部段(210)中，以便把所述构件(208)以形状配合和/或力配合方式与所述光学元件(202)连接。 | ||
| 搜索关键词： | 光刻 设备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种光刻设备(100B)，其具有：光学元件(202)，接口(204)，所述接口(204)与所述光学元件(202)耦连，与所述接口(204)分开的构件(208)，所述构件(208)直接地以形状配合和/或力配合方式与所述光学元件连接。其中，所述光学元件(202)具有啮合部段(210)，所述构件(208)具有对应啮合部段(232)，所述对应啮合部段设置为啮合到所述啮合部段(210)中，以便把所述构件(208)以形状配合和/或力配合方式与所述光学元件(202)连接。
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