[发明专利]具有保护反馈电路的高功率放大器电路

摘要

本发明描述了一种放大器电路，用于提供至少100W、优选至少200W、最优选至少250W的输出，包括场效应晶体管(111、113)。场效应晶体管(111、113)的漏极与保护反馈电路(400)连接。保护反馈电路(400)被设置用于：如果场效应晶体管(111、113)的栅极和漏极之间的电压超过反馈阈值电压(355)，则减小场效应晶体管(111、113)的漏极处的过电压能量。本发明还描述了一种包括放大器电路的射频放大器、包括射频放大器的电射频发生器、和包括电射频发生器的等离子处理系统。本发明最后描述了一种保护放大器电路中的场效应晶体管(111、113)的方法。

主权项

1.一种用于提供至少100W、优选至少200W、最优选至少250W的输出的放大器电路，包括场效应晶体管(111、113)，其中，场效应晶体管(111、113)的漏极与保护反馈电路(400)连接，其中，保护反馈电路(400)被布置为：如果场效应晶体管(111、113)的栅极和漏极之间的电压超过反馈阈值电压(355)，则减小场效应晶体管(111、113)的漏极处的过电压能量。