[发明专利]对准衍射光学系统的方法和衍射光学元件有效
| 申请号： | 201880012492.2 | 申请日： | 2018-01-25 |
| 公开（公告）号： | CN110312968B | 公开（公告）日： | 2022-09-02 |
| 发明（设计）人： | S·B·罗博尔;S·G·J·马西森;S·M·B·鲍默 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G01B11/00;G02B5/18;G11B7/1353 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 王益 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
一种将待操作的衍射光学系统与操作束对准的方法，所述方法包括：使用具有与操作束不同的波长范围的对准束并使用被优化(552)以在同一(或预定的)方向上衍射对准束和操作束的衍射光学元件来对准(558)衍射光学系统。在示例中，所述对准束包括红外(IR)辐射，所述操作束包括软X射线(SXR)辐射。通过向衍射光学元件提供具有第一节距(p |
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| 搜索关键词： | 对准 衍射 光学系统 方法 光学 元件 | ||
【主权项】：
1.一种将待操作的衍射光学系统与操作束对准的方法，所述方法包括：使用具有与所述操作束不同的波长范围的对准束并使用被优化以在多个预定方向上衍射所述对准束和所述操作束的衍射光学元件来对准所述衍射光学系统。
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