[发明专利]用于干涉计量测量机的光学笔

摘要

一种用于光学测量系统的光学笔包括探针主体，所述探针主体被布置成可调节地装配在测量机器中以用于对测试对象进行光学测量。被光学地耦合在笔主体内的单模光纤将具有跨越一系列波长的瞬时或顺序确立的带宽的源射束传送到笔主体，并且将来自笔主体的测量射束向检测器传送。笔主体内的光学器件的组合和配置提供更紧密且高效的光学笔。

主权项

1.一种用于在测试对象上的多个点之上进行干涉计量距离测量的光学笔，包括：笔主体，被布置用于容纳单模光纤的端部，所述端部用于将源射束传送到笔主体并且用于从笔主体传送测量射束；由笔主体所支撑的第一聚焦光学器件，用于使从单模光纤的端部发射的源射束准直；由笔主体所支撑的分束器，用于透射源射束的第一部分作为对象射束，并且用于反射源射束的第二部分作为参考射束，参考射束以入射的非法角往回通过第一聚焦光学器件；由笔主体所支撑的第二聚焦光学器件，用于将在笔主体之外的对象射束聚焦到邻近测试对象的对象焦点，并且用于使从测试对象反射的对象射束准直作为返回对象射束；参考反射器，用于反射参考射束作为返回参考射束，返回参考射束往回通过第一聚焦光学器件到分束器；所述分束器被布置用于透射所述返回对象射束并且用于将所述返回参考射束反射成与所述返回对象射束对准，从而将所述返回对象射束和所述返回参考射束组合成所述测量射束；以及所述第一聚焦光学器件被布置用于将所述测量射束聚焦到单模光纤的端部中。