[发明专利]用于干涉计量测量机的光学笔

权利要求书

1.一种用于在测试对象上的多个点之上进行干涉计量距离测量的光学笔，包括：

笔主体，被布置用于容纳单模光纤的端部，所述端部用于将源射束传送到笔主体并且用于从笔主体传送测量射束；

由笔主体所支撑的第一聚焦光学器件，用于使从单模光纤的端部发射的源射束准直；

由笔主体所支撑的分束器，用于透射源射束的第一部分作为对象射束，并且用于反射源射束的第二部分作为参考射束，参考射束以入射的非法角往回通过第一聚焦光学器件；

由笔主体所支撑的第二聚焦光学器件，用于将在笔主体之外的对象射束聚焦到邻近测试对象的对象焦点，并且用于使从测试对象反射的对象射束准直作为返回对象射束；

参考反射器，用于反射参考射束作为返回参考射束，返回参考射束往回通过第一聚焦光学器件到分束器；

所述分束器被布置用于透射所述返回对象射束并且用于将所述返回参考射束反射成与所述返回对象射束对准，从而将所述返回对象射束和所述返回参考射束组合成所述测量射束；

所述第一聚焦光学器件被布置用于将所述测量射束聚焦到单模光纤的端部中；

第一和第二聚焦光学器件具有相应的光轴，并且第一聚焦光学器件的光轴相对于第二聚焦光学器件的光轴倾斜；并且

所述分束器还被布置用于：沿着与第二聚焦光学器件的光轴对准的对象光轴透射源射束的第一部分作为对象射束并且沿着与第一聚焦光学器件的光轴对准的参考光轴反射源射束的第二部分作为参考射束。

2.根据权利要求1所述的光学笔，其中所述对象射束和返回对象射束共享与第二聚焦光学器件的光轴对准的对象光轴，并且所述参考射束和返回参考射束共享与第一聚焦光学器件的光轴对准的参考光轴。

3.根据权利要求2所述的光学笔，其中所述源射束和测量射束的公共光轴与第二聚焦光学器件的光轴对准。

4.一种用于在测试对象上的多个点之上进行干涉计量距离测量的光学笔，包括：

笔主体，被布置用于容纳单模光纤的端部，所述端部用于将源射束传送到笔主体并且用于从笔主体传送测量射束；

由笔主体所支撑的第一聚焦光学器件，用于使从单模光纤的端部发射的源射束准直；

由笔主体所支撑的分束器，用于透射源射束的第一部分作为对象射束，并且用于反射源射束的第二部分作为参考射束，参考射束以入射的非法角往回通过第一聚焦光学器件；

由笔主体所支撑的第二聚焦光学器件，用于将在笔主体之外的对象射束聚焦到邻近测试对象的对象焦点，并且用于使从测试对象反射的对象射束准直作为返回对象射束；

参考反射器，用于反射参考射束作为返回参考射束，返回参考射束往回通过第一聚焦光学器件到分束器；

所述分束器被布置用于透射所述返回对象射束并且用于将所述返回参考射束反射成与所述返回对象射束对准，从而将所述返回对象射束和所述返回参考射束组合成所述测量射束；

所述第一聚焦光学器件被布置用于将所述测量射束聚焦到单模光纤的端部中；以及

中间反射器，用于折叠在途去往和来自参考反射器的参考射束的路径。

5.根据权利要求4所述的光学笔，其中所述第一聚焦光学器件包括光轴，并且所述分束器包括至少部分反射性的表面，所述至少部分反射性的表面以相对于第一聚焦光学器件的光轴的非法角倾斜。

6.根据权利要求5所述的光学笔，其中所述至少部分反射性的表面的法线从第一聚焦光学器件的光轴背离不多于三度。

7.根据权利要求4所述的光学笔，其中所述参考射束和返回参考射束共享参考光轴，并且所述参考光轴相对于第一聚焦光学器件的光轴倾斜。

8.根据权利要求7所述的光学笔，其中所述源射束和测量射束的公共光轴与第一聚焦光学器件的光轴对准。

9.根据权利要求8所述的光学笔，其中所述对象射束和返回对象射束共享对象光轴，并且所述对象光轴与第二聚焦光学器件的光轴对准。