[发明专利]从多角度输入原子探针样本的能量束有效
| 申请号： | 201880002924.1 | 申请日： | 2018-01-31 |
| 公开（公告）号： | CN110326081B | 公开（公告）日： | 2021-07-30 |
| 发明（设计）人： | 约瑟夫·黑尔·邦顿;丹尼尔·罗伯特·伦兹;杰弗里·达纳·谢泼德 | 申请（专利权）人： | 可米卡仪器公司 |
| 主分类号： | H01J37/26 | 分类号： | H01J37/26 |
| 代理公司： | 成都超凡明远知识产权代理有限公司 51258 | 代理人： | 魏彦 |
| 地址： | 美国威*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 原子探针将两个或更多个脉冲激光束引导至样本上，每个激光束位于所述样本的不同侧，并且其中每个激光束在不同于其它激光束的时间提供脉冲。所述激光束优选地通过分裂由激光源提供的单光束来产生。所述激光束优选地通过一个或多个光束控向镜依次与所述样本对准入射，所述光束控向镜也可以扫描所述样本上的每个激光束以实现所需程度的样本电离。 | ||
| 搜索关键词： | 角度 输入 原子 探针 样本 能量 | ||
【主权项】：
1.一种原子探针布置，其包括：a.激光束源，以及b.分束器，其设置成：(1)沿束路径接收来自所述激光束源的激光束，并且(2)将所述激光束分裂成沿不同子束路径行进的子束，所述不同子束路径指向原子探针室内的样本。
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