[发明专利]从多角度输入原子探针样本的能量束

权利要求书

1.一种原子探针布置结构，其包括：

a.激光束源，以及

b.分束器，其设置成：

（1）沿束路径接收来自所述激光束源的激光束，并且

（2）将所述激光束分裂成沿不同子束路径行进的子束，所述不同子束路径指向原子探针室内的样本，

其中在某一时间只有所述子束中的一束入射在所述样本上。

2.根据权利要求1所述的布置结构，其进一步包括：

a.离子探测器，所述离子探测器配置成测量所述样本的离子蒸发，

b.处理器，所述处理器配置成：

（1）接收来自所述离子探测器的离子蒸发测量值，并且

（2）调节至少一个所述子束的能量，以寻找由入射在所述样本上的所有子束产生的相等的离子蒸发测量值。

3.根据权利要求2所述的布置结构，其进一步包括一个或多个衰减器，每个衰减器：

a.具有可由所述处理器调节的衰减量，并且

b.沿所述子束路径中的一条路径设置以衰减沿所述路径行进的所述子束。

4.根据权利要求1所述的布置结构，其进一步包括：

a.离子探测器，所述离子探测器配置成测量所述样本的离子蒸发，

b.一个或多个衰减器，每个所述衰减器：

（1）沿所述子束路径中的一条路径设置以衰减沿所述路径行进的所述子束，并且

（2）具有可调节的衰减量

c.处理器，所述处理器配置成：

（1）接收来自离子探测器的离子蒸发测量值，并且

（2）调节至少一个衰减器的所述衰减量，以寻找由入射在所述样本上的所有子束产生的相等的离子蒸发测量值。

5.根据权利要求2和4中任一项所述的布置结构，其中所述处理器配置成调节所述激光束的能量。

6.根据权利要求1到4中任一项所述的布置结构，其中当围绕所述样本进行测量时，所述子束路径具有至少90度的角间距。

7.根据权利要求1到4中任一项所述的布置结构，其中所述子束的所述子束路径在所述样本周围具有相等的角间距。

8.根据权利要求1到4中任一项所述的布置结构，其中：

a.所述子束路径提供至少一对沿所述束路径的所述样本的图像，并且

b.所述样本的所述图像彼此间隔开。

9.根据权利要求1到4中任一项所述的布置结构，其进一步包括位于所述激光束源和所述分束器之间的控向镜，所述控向镜可调节地重新定位以实现所述子束路径的变化。

10.根据权利要求9所述的布置结构，其中所述控向镜可重新定位以选择性地将任何选定的所述子束中的一束的所述子束路径引导至所述样本上，这种重新定位将其它子束的所述子束路径引导离开所述样本。

11.根据权利要求9所述的布置结构，其中：

a.每条子束路径包括物镜，所述物镜位于所述控向镜和所述样本之间，并且

b.样本透镜的光轴在偏离所述样本的位置相交。

12.一种收集原子探针数据的方法，其包括以下步骤：

a.将激光束分成沿不同子束路径行进的子束，

b.将所述子束导向原子探针室内的样本，其中在某一时间只有所述子束中的一束入射在所述样本上。

13.根据权利要求12所述的方法，其进一步包括随着时间的推移使不同子束入射在所述样本上的步骤。

14.根据权利要求13所述的方法，其进一步包括以下步骤：

a.扫描所述样本的区域上方的每个子束；以及

b.在所述扫描过程中监测所述样本的离子蒸发。

15.一种原子探针数据收集布置结构，其包括：

a.激光束源；

b.控向镜，所述控向镜设置成接收来自所述激光束源的激光束；以及

c.分束器，所述分束器设置成接收来自所述控向镜的所述激光束，其中所述分束器将所述激光束分成子束，所述子束沿不同的子束路径朝向样本行进；

其中，所述控向镜是可调节的，以选择性地将任何选定的所述子束中的一束引导至所述样本上，这种可选择的引导将其它子束引导离开所述样本。