[实用新型]一种硅片钝化设备

摘要

本实用新型属于太阳能电池片加工技术领域，公开了一种硅片钝化设备。其包括机架、工艺腔、输送机构及温控装置，工艺腔内间隔设置有若干密闭隔门，若干密闭隔门将工艺腔划分为若干并列的腔室，每个腔室对应设置有至少一个输送机构及温控装置，腔室内设置有上下分布且能够相对移动的上电极及下电极，输送机构部分伸入腔室且位于上电极及下电极之间，并沿垂直于腔室的排列方向将硅片送入腔室。通过温控装置实时监测腔室的温度并根据各工序的需要进行温度调节，不会使硅片温度发生骤变，避免影响工艺效果；多个腔室独立完成钝化，钝化效率高；各个腔室彼此独立，单一腔室故障时不影响其他腔室的工作，减少整个设备故障停机时间，提高利用率。

主权项

1.一种硅片钝化设备，包括机架(1)，其特征在于，所述硅片钝化设备还包括设置于所述机架(1)上的工艺腔(2)，所述工艺腔(2)内间隔设置有若干密闭隔门(22)，若干所述密闭隔门(22)将所述工艺腔(2)划分为若干并列的腔室(21)，每个所述腔室(21)对应设置有至少一个输送机构(3)及温控装置，所述腔室(21)内设置有上下分布且能够相对移动的上电极(4)及下电极(5)，所述输送机构(3)部分伸入所述腔室(21)且位于所述上电极(4)及所述下电极(5)之间，并沿垂直于所述腔室(21)的排列方向将硅片(10)送入所述腔室(21)。