[实用新型]一种双面曝光装置

摘要

本实用新型公开了一种双面曝光装置，包括汞灯箱、升降台和电控箱，在汞灯箱上设散热风扇和曝光头，升降台上设承片托盘，曝光头通过旋转部件连接汞灯箱，所述汞灯箱、升降台、散热风扇以及旋转部件均连接电控箱，于所述电控箱顶部设固定托盘，所述承片托盘和固定托盘分别与曝光头配合使用。本实用新型利用曝光头可旋转的结构，在现有电控箱上方增设固定托盘，克服了传统曝光机只能进行一次或P面标记光刻的不足，可实现P面、一次、二次、三次工艺的光刻，功能性能增加。

主权项

1.一种双面曝光装置，包括汞灯箱（1）、升降台（2）和电控箱（3），在汞灯箱（1）上设散热风扇（4）和曝光头（5），升降台（2）上设承片托盘（6），所述汞灯箱（1）、升降台（2）和电控箱（3）均设于机架座（8）上，汞灯箱（1）通过旋转部件（14）连接机架座（8），所述汞灯箱（1）、升降台（2）、散热风扇（4）以及旋转部件（14）均连接电控箱（3），其特征在于：于所述电控箱（3）顶部设固定托盘（7），所述承片托盘（6）和固定托盘（7）分别与曝光头（5）配合使用。