[实用新型]一种双面曝光装置

说明书

本实用新型公开了一种双面曝光装置，包括汞灯箱、升降台和电控箱，在汞灯箱上设散热风扇和曝光头，升降台上设承片托盘，曝光头通过旋转部件连接汞灯箱，所述汞灯箱、升降台、散热风扇以及旋转部件均连接电控箱，于所述电控箱顶部设固定托盘，所述承片托盘和固定托盘分别与曝光头配合使用。本实用新型利用曝光头可旋转的结构，在现有电控箱上方增设固定托盘，克服了传统曝光机只能进行一次或P面标记光刻的不足，可实现P面、一次、二次、三次工艺的光刻，功能性能增加。

技术领域

本实用新型是一种双面曝光装置，属于曝光设备技术领域。

背景技术

图1为传统曝光机的结构示意图，如图1所示，传统曝光机主要采用汞灯箱、升降台以及电控箱组成，仅可实现一次单面曝光的操作，具体测试操作方式如下：启动汞灯和机台电源，触发点亮汞灯后进行汞灯光强检验，同时，在控制箱面板上设置曝光时间、曝光间隙等参数；将曝光材料放置在升降台上的承片托盘上，手动推进承片托盘，升降台自动感应上升至曝光高度位置，汞灯箱上的曝光头转动移至升降台正上方，汞灯快门自动打开，进行曝光；曝光计时结束后，汞灯快门闭合，停止曝光，升降台下降复位，操作员手动拉出托盘，从承片托盘的吸盘上取下曝光材料，重复进行下一轮曝光作业。

由于传统曝光机使用功能的不足，现有技术提出了可实现双面曝光的自动曝光机，如专利文献CN108255029A（一种双面曝光机及其曝光方法，2018.07.06）公开的设置有两组曝光机构的双面曝光机，使用时，曝光材料由翻转机构在两组曝光平台之间转移，分别由两组摄像对位装置定位后，由两组曝光机构分别对其进行曝光，相对于传统的手动对位更精确，而且能够增加曝光速率。我们知道，曝光机是生产大规模集成电路的核心设备，制造和维护都需要高精度的光学和电子工业基础，而上述专利采用两组曝光机构，其制作成本和维护成本将十分昂贵，经济价值低。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种双面曝光装置，该装置利用曝光头可旋转的结构，在现有电控箱上方增设固定托盘，克服了传统曝光机只能进行一次或P面标记光刻的不足，可实现P面、一次、二次、三次工艺的光刻，功能性能增加。

本实用新型通过下述技术方案实现：一种双面曝光装置，包括汞灯箱、升降台和电控箱，在汞灯箱上设散热风扇和曝光头，升降台上设承片托盘，所述汞灯箱、升降台和电控箱均设于机架座上，汞灯箱通过旋转部件连接机架座，所述汞灯箱、升降台、散热风扇以及旋转部件均连接电控箱，于所述电控箱顶部设固定托盘，所述承片托盘和固定托盘分别与曝光头配合使用。

在所述机架座上还设有配合固定托盘的定位机构，所述定位机构连接电控箱。

所述定位机构包括相互连接的物镜和显示屏，所述物镜配合固定托盘使用。

在所述承片托盘和固定托盘均设有感应器，所述感应器连接电控箱。

在所述承片托盘和固定托盘上均设有真空吸附装置，所述真空吸附装置连接电控箱。

所述固定托盘通过固定支架设于电控箱顶部；所述承片托盘通过移动支架设于升降台顶部，移动支架顶部设凸起，承片托盘底部设供凸起卡入的滑槽，承片托盘通过移动支架滑动设于升降台上。

本实用新型与现有技术相比，具有以下优点及有益效果：

（1）本实用新型是在传统曝光机的结构上进行的改进，通过在电控箱上方增加固定的固定托盘，利用传统曝光机曝光头可左右旋转的特点，分别对承片托盘和固定托盘上的曝光材料进行交叉重复的曝光操作，有效的提高了设备的利用效率。

（2）本实用新型通过增加固定托盘，可用于P面标记光刻，在交叉重复进行光刻机使用的过程中，大大节省了单独标记P面的资源占用，缩短了工艺周期，提高了设备利用效益。

（3）本实用新型通过在机架座上增加物镜和显示屏的设置，用于对固定托盘上的曝光材料进行观察，利用显示屏增加可视功能，提高操作的便利性。