[实用新型]基板异物检测装置及系统有效
| 申请号： | 201822248609.7 | 申请日： | 2018-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN209149066U | 公开（公告）日： | 2019-07-23 |
| 发明（设计）人： | 王行 | 申请（专利权）人： | 成都中电熊猫显示科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 朱颖;刘芳 |
| 地址： | 610200 四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本实用新型实施例提供一种基板异物检测装置及系统，该装置包括：操作台，所述操作台上设有输送待测基板的输送设备，所述操作台上沿着所述输送设备的输送方向依次设有第一固定架和第二固定架；检测设备，设置在所述第一固定架上，用于检测所述待测基板上的异物；测高设备，设置在所述第二固定架上，与所述检测设备电连接，用于测定经过所述检测设备的所述待测基板上的异物的高度。本实用新型能够检测出面积较小但高度较大的异物，防止对基板曝光时，这些异物划伤掩膜版或污染掩膜版。 | ||
| 搜索关键词： | 固定架 异物 待测基板 检测设备 异物检测装置 本实用新型 输送设备 掩膜版 基板 操作台 电连接 对基板 检测 测高 划伤 曝光 污染 | ||
【主权项】：
1.一种基板异物检测装置，其特征在于，包括：操作台，所述操作台上设有输送待测基板的输送设备，所述操作台上沿着所述输送设备的输送方向依次设有第一固定架和第二固定架；检测设备，设置在所述第一固定架上，用于检测所述待测基板上的异物；测高设备，设置在所述第二固定架上，与所述检测设备电连接，用于测定经过所述检测设备的所述待测基板上的异物的高度。
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