[实用新型]基板异物检测装置及系统

说明书

本实用新型实施例提供一种基板异物检测装置及系统，该装置包括：操作台，所述操作台上设有输送待测基板的输送设备，所述操作台上沿着所述输送设备的输送方向依次设有第一固定架和第二固定架；检测设备，设置在所述第一固定架上，用于检测所述待测基板上的异物；测高设备，设置在所述第二固定架上，与所述检测设备电连接，用于测定经过所述检测设备的所述待测基板上的异物的高度。本实用新型能够检测出面积较小但高度较大的异物，防止对基板曝光时，这些异物划伤掩膜版或污染掩膜版。

技术领域

本实用新型实施例涉及显示领域，尤其涉及一种基板异物检测装置及系统。

背景技术

在液晶显示器(Liquid Crystal Display，LCD)的制造过程中，在基板上涂覆光刻胶并曝光是必不可少的工序。涂布了光刻胶的基板进入曝光机进行曝光之前需要进行异物检查，防止基板上的玻璃碎片、金属、胶残和灰尘等异物在曝光时划伤掩膜版或附着在掩膜版上导致共通缺陷。

目前，常用的异物检测方法是通过检测异物的面积来判断基板是否能够进入曝光机进行曝光。在基板上的异物的面积较大时，基板不能进入曝光机进行曝光，而在基板上的异物的面积较小时，基板进行正常曝光。

然而，发明人发现，对于一些细小而尖锐的异物，由于异物的实际面积较小，这种异物检测方法会导致这些面积较小但高度较大的异物漏检，从而会导致携带这种异物的基板进入曝光机，但是由于这种细小尖锐的异物高度较大，会划伤掩膜版或污染掩膜版。

实用新型内容

本实用新型提供一种基板异物检测装置及系统，能够检测面积较小但高度较大的异物，防止对基板曝光时，这些异物划伤掩膜版或污染掩膜版。

第一方面，本实用新型提供一种基板异物检测装置，包括：操作台，

所述操作台上设有输送待测基板的输送设备，

所述操作台上沿着所述输送设备的输送方向依次设有第一固定架和第二固定架；

检测设备，设置在所述第一固定架上，用于检测所述待测基板上的异物；

测高设备，设置在所述第二固定架上，与所述检测设备电连接，用于测定经过所述检测设备的所述待测基板上的异物的高度。

在第一方面的第一种实现方式中，还包括：

控制器，与所述测高设备电连接，用于根据所述测高设备的测定结果控制所述待测基板进入曝光机进行曝光。

在第一方面的第二种实现方式中，还包括：

报警器，与所述测高设备电连接，用于根据所述测高设备的测定结果进行报警工作。

在第一方面的第三种实现方式中，所述检测设备包括：

第一信号发射器和第一信号接收器，所述第一信号接收器与所述测高设备电连接；

所述第一信号发射器用于向所述待测基板发射第一发射信号，所述第一信号接收器根据所述待测基板反射的第一反射信号检测所述待测基板上的异物。

在第一方面的第四种实现方式中，所述检测设备包括：

第一光源设备和CCD检测设备，所述CCD检测设备与所述测高设备电连接；

所述第一光源设备用于照射所述待测基板，所述CCD检测设备根据所述待测基板反射的光线检测所述待测基板上的异物。

在第一方面的第五种实现方式中，所述测高设备包括：

第二信号发射器和第二信号接收器，所述第二信号发射器与所述检测设备电连接；