[实用新型]一种蒸发源组件和薄膜生长设备有效
| 申请号： | 201822226646.8 | 申请日： | 2018-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN209537607U | 公开（公告）日： | 2019-10-25 |
| 发明（设计）人： | 邹以慧;瞿佳华 | 申请（专利权）人： | 华夏易能（广东）新能源科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/06 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 王宝筠 |
| 地址： | 517000 广东省河源市高新技术产业*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种蒸发源组件和薄膜生长设备，包括一腔室，腔室包括多个反应区以及位于相邻的反应区之间的间隔板，间隔板将各个反应区分隔成相互独立的空间；多个反应区至少包括第一反应区、第二反应区和第三反应区，第一反应区、第二反应区和第三反应区的排列方向与位于腔室顶部的衬底的传动方向相同；第一反应区包括硒蒸发源、铟蒸发源和镓蒸发源，第二反应区包括硒蒸发源和铜蒸发源，第三反应区包括硒蒸发源、铟蒸发源和镓蒸发源。由于相邻的反应区之间具有间隔板，因此，第一反应区、第二反应区和第三反应区之间的各蒸发源不会相互影响，这样不仅提高了各蒸发源的利用率，而且可以提高CIGS薄膜的质量。 | ||
| 搜索关键词： | 蒸发源 反应区 第二反应区 第三反应区 第一反应区 间隔板 薄膜生长设备 蒸发源组件 腔室 本实用新型 传动方向 排列方向 衬底 分隔 | ||
【主权项】：
1.一种蒸发源组件，其特征在于，包括一腔室，所述腔室包括多个反应区以及位于相邻的所述反应区之间的间隔板，所述间隔板将各个所述反应区分隔成相互独立的空间；所述多个反应区至少包括第一反应区、第二反应区和第三反应区，所述第一反应区、第二反应区和第三反应区的排列方向与位于所述腔室顶部的衬底的传动方向相同；所述第一反应区包括硒蒸发源、铟蒸发源和镓蒸发源，所述第二反应区包括硒蒸发源和铜蒸发源，所述第三反应区包括硒蒸发源、铟蒸发源和镓蒸发源。
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