[实用新型]一种蒸发源组件和薄膜生长设备

说明书

本实用新型提供了一种蒸发源组件和薄膜生长设备，包括一腔室，腔室包括多个反应区以及位于相邻的反应区之间的间隔板，间隔板将各个反应区分隔成相互独立的空间；多个反应区至少包括第一反应区、第二反应区和第三反应区，第一反应区、第二反应区和第三反应区的排列方向与位于腔室顶部的衬底的传动方向相同；第一反应区包括硒蒸发源、铟蒸发源和镓蒸发源，第二反应区包括硒蒸发源和铜蒸发源，第三反应区包括硒蒸发源、铟蒸发源和镓蒸发源。由于相邻的反应区之间具有间隔板，因此，第一反应区、第二反应区和第三反应区之间的各蒸发源不会相互影响，这样不仅提高了各蒸发源的利用率，而且可以提高CIGS薄膜的质量。

技术领域

本实用新型涉及薄膜生长技术领域，更具体地说，涉及一种蒸发源组件和薄膜生长设备。

背景技术

目前，柔性衬底铜铟镓硒(铜(铟，镓)硒₂，简称CIGS)薄膜太阳能电池由于具有效率高、抗辐射能力强、稳定性好等优点，因此，被称为最有前途的太阳能电池之一。其中，CIGS吸收层即CIGS薄膜是CIGS薄膜太阳能电池的核心膜层，也就是说，CIGS薄膜的结晶质量是影响CIGS薄膜太阳能电池效率的关键因素。但是，现有的CIGS薄膜太阳能电池中CIGS薄膜的结晶质量仍有待提高。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型提供了一种蒸发源组件和薄膜生长设备，以制备出高质量的CIGS薄膜。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种蒸发源组件，包括一腔室，所述腔室包括多个反应区以及位于相邻的所述反应区之间的间隔板，所述间隔板将各个所述反应区分隔成相互独立的空间；

所述多个反应区至少包括第一反应区、第二反应区和第三反应区，所述第一反应区、第二反应区和第三反应区的排列方向与位于所述腔室顶部的衬底的传动方向相同；

所述第一反应区包括硒蒸发源、铟蒸发源和镓蒸发源，所述第二反应区包括硒蒸发源和铜蒸发源，所述第三反应区包括硒蒸发源、铟蒸发源和镓蒸发源。

可选地，任一所述反应区的四周都具有所述间隔板，且所述反应区四周的间隔板构成一遮罩。

可选地，还包括第四反应区，所述第四反应区位于所述第二反应区和所述第三反应区之间；

所述第一反应区包括至少一组硒蒸发源、至少两组铟蒸发源和至少两组镓蒸发源，所述第二反应区包括至少一组硒蒸发源和至少两组铜蒸发源，所述第四反应区包括至少一组硒蒸发源和至少两组铜蒸发源，所述第三反应区包括至少一组硒蒸发源、至少两组铟蒸发源和至少两组镓蒸发源。

可选地，所述遮罩底部的面积大于所述遮罩顶部的面积，且所述遮罩顶部的面积等于或大于一个所述衬底的面积。

可选地，所述第二反应区包括第一子区和第二子区；所述第一子区和所述第二子区的排列方向与所述衬底的传动方向相同；

所述第一反应区包括至少一组硒蒸发源、至少两组铟蒸发源和至少两组镓蒸发源，所述第一子区和所述第二子区都包括至少一组硒蒸发源和至少两组铜蒸发源，所述第三反应区包括至少一组硒蒸发源、至少两组铟蒸发源和至少两组镓蒸发源。

可选地，所述遮罩底部的面积大于所述遮罩顶部的面积，且所述第一反应区和所述第三反应区的遮罩顶部的面积等于或大于一个所述衬底的面积，所述第二反应区的遮罩顶部的面积等于或大于在所述衬底的传动方向上依次排列的两个所述衬底的面积。

可选地，所述硒蒸发源位于所述腔室底部的中间区域，且所述硒蒸发源沿所述衬底的传动方向依次排列，所述铜蒸发源、所述铟蒸发源或所述镓蒸发源沿所述衬底的传动方向呈左右两列分布在所述腔室的底部。