[实用新型]一种镀膜装置有效
| 申请号： | 201822214938.X | 申请日： | 2018-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN209816260U | 公开（公告）日： | 2019-12-20 |
| 发明（设计）人： | 蔡家豪;方斌;刘加云;汪俊;邱智中;蔡吉明 | 申请（专利权）人： | 安徽三安光电有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 241000 安徽*** | 国省代码： | 安徽;34 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型涉及蒸镀技术领域，特别涉及一种镀膜装置，通过更改镀锅的结构，使其即可在水平方向上滑动，又可以进行自转，而第三支撑轴的设置，有可以改变镀锅的角度，从而根据满足不同蒸镀源的需要，提升蒸镀材料的包覆性。 | ||
| 搜索关键词： | 镀锅 本实用新型 镀膜装置 蒸镀材料 滑动 包覆性 蒸镀源 支撑轴 自转 蒸镀 | ||
【主权项】：
1.一种镀膜装置，包括：/n蒸镀室：/n设置于所述蒸镀室顶部的支撑轴，所述支撑轴另一端连接有镀锅；/n设置于镀锅下方的蒸镀源；/n其特征在于：所述支撑轴包括：/n第一支撑轴，用于所述镀锅在水平方向上移动，第一支撑轴的一端通过水平滑动装置设置于蒸镀室顶部；/n第二支撑轴，用于所述镀锅自转，第二支撑轴的一端通过旋转构件与第一支撑轴的另一端连接，第二支撑轴的另一端连接于镀锅；/n第三支撑轴，用于调节镀锅的角度，第三支撑轴包括设置于第二支撑轴上的横轴和设置于所述横轴上的可升降或者伸缩的纵轴，所述纵轴的一端连接于镀锅。/n
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于安徽三安光电有限公司，未经安徽三安光电有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201822214938.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种蒸镀坩埚
- 下一篇：一种复合型载具及镀膜系统
- 同类专利
- 专利分类
