[实用新型]用于下部电极的电极棒

摘要

本实用新型公开了一种用于下部电极的电极棒，包括陶瓷体、钛棒和底座，钛棒包括导电体，以及可拆卸设置在导电体一端的引电头，其中导电体呈圆柱状，底座固套于陶瓷体的下端，且位于引电头的周向外侧，引电头贯穿底座的下表面，陶瓷体内设有用于安装钛棒的安装腔，安装腔的直径为ΦA；导电体远离引电头的一端具有呈柱状的供电头，供电头露出安装腔，并与陶瓷体的端面紧贴，供电头紧贴陶瓷体的一端具有圆形遮挡面，该圆形遮挡面的直径为ΦB，所述ΦB大于ΦA。通过改变钛棒结构，防止电流击穿对绝缘涂层及铝母材的破坏，提高下部电极的整体寿命，确保电极棒具有良好的导电效率，同时提高电极棒特定部位涂层的绝缘性，提高刻蚀品的产能。

主权项

1.一种用于下部电极的电极棒，包括陶瓷体(1)、钛棒(2)和底座(4)，其特征在于：所述钛棒(2)包括导电体(21)，以及可拆卸设置在导电体(21)一端的引电头(20)，其中导电体(21)呈圆柱状，所述底座(4)固套于陶瓷体(1)的下端，且位于引电头(20)的周向外侧，所述引电头(20)贯穿底座(4)的下表面，所述陶瓷体(1)内设有用于安装钛棒(2)的安装腔(10)，所述安装腔(10)的直径为ΦA；所述导电体(21)远离引电头(20)的一端具有呈柱状的供电头(22)，所述供电头(22)露出安装腔(10)，并与陶瓷体(1)的端面紧贴，供电头(22)紧贴陶瓷体(1)的一端具有圆形遮挡面(220)，该圆形遮挡面(220)的直径为ΦB，所述ΦB大于ΦA。