[实用新型]用于下部电极的电极棒

说明书

本实用新型公开了一种用于下部电极的电极棒，包括陶瓷体、钛棒和底座，钛棒包括导电体，以及可拆卸设置在导电体一端的引电头，其中导电体呈圆柱状，底座固套于陶瓷体的下端，且位于引电头的周向外侧，引电头贯穿底座的下表面，陶瓷体内设有用于安装钛棒的安装腔，安装腔的直径为ΦA；导电体远离引电头的一端具有呈柱状的供电头，供电头露出安装腔，并与陶瓷体的端面紧贴，供电头紧贴陶瓷体的一端具有圆形遮挡面，该圆形遮挡面的直径为ΦB，所述ΦB大于ΦA。通过改变钛棒结构，防止电流击穿对绝缘涂层及铝母材的破坏，提高下部电极的整体寿命，确保电极棒具有良好的导电效率，同时提高电极棒特定部位涂层的绝缘性，提高刻蚀品的产能。

技术领域

本实用新型属于LCD蚀刻技术领域，具体涉及一种用于下部电极的电极棒。

背景技术

下部电极被广泛应用于诸如平板显示器件、集成电路的干法刻蚀工艺中，刻蚀工艺中的主要设备还包括反应腔和上部电极，下部电极和上部电极均位于反应腔内，刻蚀过程中，待刻蚀基板置于下部电极上，反应腔内通入等离子气体，并将反应腔密闭，向上部电极和下部电极施加电压，二者之间形成电势差；在电场作用下，等离子体获得很高的能量并以很高的速度轰击待刻蚀基板从而实现刻蚀。

此过程中，下部电极中通过电极棒引入高电压，现有电极棒主要由钛棒和陶瓷体构成，而因为二者均存在加工公差，导致二者之间存在装配缝隙，经过实验发现，该缝隙使得高电压在头部位置产生电弧放电，从而对母材上的绝缘涂层产生破坏，最终导致绝缘失效，使母材破裂，大大缩短下部电极的使用寿命，甚至在刻蚀过程中影响产品刻蚀效果，扩大了次品率。

实用新型内容

为解决以上技术问题，本实用新型提供了一种用于下部电极的电极棒，避免或减弱高放电对绝缘涂层产生破坏，延长下部电极的使用寿命，提高刻蚀产品良品率。

为实现上述目的，本实用新型技术方案如下：

一种用于下部电极的电极棒，包括陶瓷体、钛棒和底座，其关键在于：所述钛棒包括导电体，以及可拆卸设置在导电体一端的引电头，其中导电体呈圆柱状，所述底座固套于陶瓷体的下端，且位于引电头的周向外侧，所述引电头贯穿底座的下表面，所述陶瓷体内设有用于安装钛棒的安装腔，所述安装腔的直径为ΦA；

所述导电体远离引电头的一端具有呈柱状的供电头，所述供电头露出安装腔，并与陶瓷体的端面紧贴，供电头紧贴陶瓷体的一端具有圆形遮挡面，该圆形遮挡面的直径为ΦB，所述ΦB大于ΦA。

采用以上方案，采用分体式的钛棒结构，导电体从上往下插入后与引电头连接，并通过供电头实现对钛棒与陶瓷体之间间隙的遮挡，避免使用过程中因为钛棒放电，导致对间隙位置处绝缘涂层的损坏，从而使绝缘涂层失效，对铝母材造成破坏的情况发生，大大提高了下部电极的使用寿命。

为提高钛棒头部位置的完整度，降低装配精度，所述供电头与导电体一体成型。

作为优选：所述供电头呈锥台状，其直径沿远离陶瓷体的方向逐渐变小。采用以上结构，有利于保证绝缘涂层的附着力，确保其周围均能有绝缘涂层覆盖。

作为优选：所述供电头的最小直径大于导电体的直径。采用以上结构，确保其能充分遮挡陶瓷体与母材之间的缝隙，并能防止缝隙引起的电极棒失效。

为提高电极棒的生产组装效率，所述引电头和导电体螺纹连接。

作为优选：所述引电头呈“T”字型，其包括一体成型的引电部和固定部，所述引电部和固定部均呈圆柱状，且同轴设置，所述固定部的直径为ΦC，所述ΦC大于ΦA。采用以上结构，便于与底座固定连接，可有效确保安装腔的密闭性，防止杂质侵入安装腔内，影响钛棒导电性能。