[实用新型]一种用于大尺寸线掩膜版的转运装置有效

专利信息
申请号: 201822193705.6 申请日: 2018-12-26
公开(公告)号: CN209351733U 公开(公告)日: 2019-09-06
发明(设计)人: 林伟;肖鑫 申请(专利权)人: 成都路维光电有限公司
主分类号: B65B65/00 分类号: B65B65/00;B65G47/248;B65G41/00;B65G13/00
代理公司: 成都行之专利代理事务所(普通合伙) 51220 代理人: 唐邦英
地址: 610000 四川省成*** 国省代码: 四川;51
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摘要: 实用新型公开了一种用于大尺寸线掩膜版的转运装置,包括支撑部、旋转部和传动部,所述支撑部包括框架,所述旋转部包括底座,所述底座转动设置在框架上端面,所述底座上端面的一个端部设置有立板,所述底座的上端面至少对称设置有2排支撑座,2个对称的支撑座之间设置有滚筒,所述传动部包括设置在框架上的滚珠丝杠,所述滚珠丝杠上配套设置有滚珠丝杠螺母,所述滚珠丝杠的端部设置有摇杆,所述传动部还包括连杆,所述连杆一端与滚珠丝杠螺母铰接,另一端与底座的底部转动连接。本实用新型实现了将大尺寸掩膜版从竖直状态安全、高效地转运到水平状态,降低手动转运的工作量和风险。
搜索关键词: 底座 滚珠丝杠 传动部 掩膜版 滚珠丝杠螺母 本实用新型 转运装置 尺寸线 上端面 旋转部 支撑座 转运 底座转动 对称设置 竖直状态 水平状态 转动连接 上端 滚筒 铰接 立板 摇杆 支撑 工作量 对称 配套 安全
【主权项】:
1.一种用于大尺寸线掩膜版的转运装置,其特征在于,包括支撑部、旋转部和传动部,所述支撑部包括框架(2),所述旋转部包括底座(1),所述底座(1)转动设置在框架(2)上端面,所述底座(1)上端面的一个端部设置有立板(14),所述底座(1)的上端面至少对称设置有2排支撑座(11),2个对称的支撑座(11)之间设置有滚筒(12),所述传动部包括设置在框架(2)上的滚珠丝杠(3),所述滚珠丝杠(3)上配套设置有滚珠丝杠螺母(6),所述滚珠丝杠(3)的端部设置有摇杆(4),所述传动部还包括连杆(5),所述连杆(5)一端与滚珠丝杠螺母(6)铰接,另一端与底座(1)的底部转动连接。
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