[实用新型]反应槽的旁通式液位检测结构有效
| 申请号： | 201822159163.0 | 申请日： | 2018-12-21 |
| 公开（公告）号： | CN209181866U | 公开（公告）日： | 2019-07-30 |
| 发明（设计）人： | 左国军;成旭 | 申请（专利权）人： | 常州捷佳创精密机械有限公司 |
| 主分类号： | G01F23/02 | 分类号： | G01F23/02 |
| 代理公司： | 深圳市康弘知识产权代理有限公司 44247 | 代理人： | 尹彦;胡朝阳 |
| 地址： | 213000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种反应槽的旁通式液位检测结构，包括反应槽；旁通管，其一端与反应槽的底部连通；液位检测管，竖直设置，其下端与旁通管的另一端连通；液位传感器，安装在液位检测管的顶部；排气管，其一端与液位检测管的上端连通，另一端与空气连通。本实用新型反应槽的旁通式液位检测结构，反应槽内液位高度的检测准确度较高，不会损坏硅片，维护方便、安全。 | ||
| 搜索关键词： | 反应槽 液位检测管 液位检测 旁通式 本实用新型 旁通管 连通 液位传感器 底部连通 空气连通 竖直设置 维护方便 准确度 排气管 上端 硅片 内液 下端 检测 安全 | ||
【主权项】：
1.一种反应槽的旁通式液位检测结构，其特征在于：包括反应槽（1）；旁通管（3），其一端与反应槽（1）的底部连通；液位检测管（6），竖直设置，其下端与旁通管（3）的另一端连通；液位传感器（4），安装在液位检测管（6）的顶部；排气管（5），其一端与液位检测管（6）的上端连通，另一端与空气连通。
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