[实用新型]一种用于电子元器件行业的纯水换热系统

摘要

本申请公开了一种用于电子元器件行业的纯水换热系统，该系统有两组板式换热器，左侧为一次侧，为系统提供冷量，右侧为二次侧，接收系统的冷量，工艺供水流道上配置电导率传感器，所述工艺回水流道上连接有RO补水管道，相应设置的温度传感器、压力传感器、电导率传感器、压差传感器、电动调节阀、电磁阀以及电动压差调节阀均连接控制器。本申请降低了换热能耗，在过渡季节和冬季工况时，应用冷却水供冷，可关闭冷水主机，降低了工艺水的制备成本；自动化程度高，运行能效高，工艺供水水质高，降低电子元器件的生产成本、提高成品率。

主权项

1.一种用于电子元器件行业的纯水换热系统，其特征在于，包括两组板式换热器，第一组板式换热器(32A)的一次侧设置有冷却水进水流道和冷却水出水流道，冷却水进水流道沿着水流进入方向顺次连接有冷却水供水口(33)、过滤器阀组(4)和进水阀组(7)，冷却水出水流道沿着水流排出方向顺次连接有出水阀组(10)、电动调节阀阀组(9)和冷却水出水口(34)；第二组板式换热(32B)的一次侧设置有冷冻水进水流道和冷冻水出水流道，所述冷冻水进水流道沿着水流进入方向顺次连接有冷动水供水口(35)、过滤器阀组(4)和进水阀组(7)，冷冻水出水流道沿着水流排出方向顺次连接有出水阀组(10)、电动调节阀阀组(9)和冷冻水出水口(36)；其中，所述过滤器阀组(4)包含顺次连接的第一蝶阀(101)、第一压力表(201)、第一过滤器(301)、第二压力表(202)和第二蝶阀(102)；所述进水阀组(7)包含顺次连接的第三蝶阀(103)、第三压力表(203)、第一温度计(501)和第一泄水阀(601)；所述出水阀组(10)包含顺次连接的第二温度计(502)、第四压力表(204)和第四蝶阀(104)；所述电动调节阀阀组(9)包含顺次连接的第五蝶阀(105)、第一电动调节阀(801)和第六蝶阀(106)；板式换热器的二次侧设置有电子元器件工艺回水流道和工艺供水流道，工艺回水流道沿着水流方向顺次连接有工艺回水口(38)、水泵阀组(16)和袋式过滤器阀组(13)，工艺回水进入第一组和第二组板式换热器换热，沿着工艺供水流道由工艺供水口(37)流出；其中，所述水泵阀组(16)包含顺次连接的第七蝶阀(107)、第五压力表(205)、第二过滤器(302)、第六压力表(206)、第二泄水阀(602)、水泵(14)、第七压力表(207)、第一止回阀(1801)和第八蝶阀(108)；所述袋式过滤器阀组(13)包含顺次连接的第九蝶阀(109)、第八压力表(208)、袋式过滤器(11)、第九压力表(209)和第十蝶阀(110)；所述工艺回水流道和工艺供水流道上安装有压力传感器(19)、温度传感器(20)、压力表(2)和温度计(5)；在所述工艺供水口(37)和工艺回水口(38)之间配置压差传感器(27)，同时工艺回水流道和工艺供水流道间配置旁通管道，旁通管道安装电动压差调节阀阀组(26)，包含顺次设置的第十一蝶阀(111)、电动压差调节阀(25)和第十二蝶阀(112)；所述工艺回水流道上，配置安全阀(21)、电磁阀(23)和第三泄水阀(603)；所述工艺供水流道上配置电导率传感器(22)；所述工艺回水流道上连接有RO补水管道，RO补水通过RO补水口(39)，经补水阀组(29)、囊式膨胀罐(30)进入工艺回水流道，其中补水阀组(29)包含顺次连接的第十三蝶阀(113)、第二止回阀(1802)、第二电动调节阀(802)、减压稳压阀(28)和第十四蝶阀(114)；所述温度传感器(20)、压力传感器(19)、电导率传感器(22)、压差传感器(27)、电动调节阀、电磁阀(23)以及电动压差调节阀(25)均连接控制器(31)。