[实用新型]一种用于电子元器件行业的纯水换热系统有效
申请号: | 201822121925.8 | 申请日: | 2018-12-18 |
公开(公告)号: | CN209558968U | 公开(公告)日: | 2019-10-29 |
发明(设计)人: | 田春燕;黄显飞;夏沁 | 申请(专利权)人: | 上海丰律流体技术有限公司 |
主分类号: | F28D9/00 | 分类号: | F28D9/00;F28F19/01;F28F27/00 |
代理公司: | 上海领洋专利代理事务所(普通合伙) 31292 | 代理人: | 罗晓鹏 |
地址: | 201800 上海市嘉*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 电子元器件行业 电导率传感器 换热系统 次侧 冷量 电动压差调节阀 板式换热器 电动调节阀 电子元器件 连接控制器 温度传感器 压差传感器 压力传感器 补水管道 供水水质 过渡季节 接收系统 系统提供 成品率 电磁阀 工艺水 可关闭 冷却水 供冷 换热 两组 能效 制备 申请 生产成本 主机 能耗 自动化 供水 配置 应用 | ||
本申请公开了一种用于电子元器件行业的纯水换热系统,该系统有两组板式换热器,左侧为一次侧,为系统提供冷量,右侧为二次侧,接收系统的冷量,工艺供水流道上配置电导率传感器,所述工艺回水流道上连接有RO补水管道,相应设置的温度传感器、压力传感器、电导率传感器、压差传感器、电动调节阀、电磁阀以及电动压差调节阀均连接控制器。本申请降低了换热能耗,在过渡季节和冬季工况时,应用冷却水供冷,可关闭冷水主机,降低了工艺水的制备成本;自动化程度高,运行能效高,工艺供水水质高,降低电子元器件的生产成本、提高成品率。
技术领域
本申请涉及一种用于电子元器件行业的纯水换热系统。
背景技术
纯水指的是不含杂质的H2O,又名高纯水,是指化学纯度极高的水,普遍应用于电子行业。在电子元器件的生产过程当中,纯水主要用于清洗以及用来配置各种溶液、浆料。电子设备厂一般24小时工作,纯水需求量大。而纯水根据工艺要求须达到相应的温度,所以工厂需要配置冷却水设备。常规做法(图1)是工厂配置冷冻主机1’,主机提供7/12℃冷水(冷冻水供水4’为7℃,冷冻水回水5’为12℃),工艺回水(纯水)6’通过板式换热2’换热,获得满足温度要求的工艺供水7’。在制冷系统中,耗能设备主要有冷冻主机(1’)和水泵(3’),其中冷冻主机的耗能非常大,纯水冷却的费用占电子元器件生产成本的比例极高,故工厂需要一种更节能的换热方式冷却纯水。另一方面,纯水水质已经成为影响电子元器件产品质量、生产成品率以及生产成本的重要因素之一,需要时刻监测水质的状况,目前做法是给系统补水8’为符合要求的纯水,但系统运行过程中,由于设备的影响,水质可能会发生变化,所以需要一种更准确控制系统水质指标的方式。
综合所述,目前需要设计一种用于电子元器件行业的节能、精确控制水质的换热系统。
实用新型内容
针对现有技术存在的上述不足,本实用新型的目的在于提供一种用于电子元器件行业的纯水换热系统。
为实现以上目的,本实用新型提供的一种用于电子元器件行业的纯水换热系统,采用如下技术方案:
一种用于电子元器件行业的纯水换热系统,包括两组板式换热器,第一组板式换热器A的一次侧设置有冷却水进水流道和冷却水出水流道,冷却水进水流道沿着水流进入方向顺次连接有冷却水供水口、过滤器阀组和进水阀组,冷却水出水流道沿着水流排出方向顺次连接有出水阀组、电动调节阀阀组和冷却水出水口;第二组板式换热B的一次侧设置有冷冻水进水流道和冷冻水出水流道,所述冷冻水进水流道沿着水流进入方向顺次连接有冷动水供水口、过滤器阀组和进水阀组,冷冻水出水流道沿着水流排出方向顺次连接有出水阀组、电动调节阀阀组和冷冻水出水口;其中,所述过滤器阀组包含顺次连接的第一蝶阀、第一压力表、第一过滤器、第二压力表、和第二蝶阀;所述进水阀组包含顺次连接的第三蝶阀、第三压力表、第一温度计和第一泄水阀;所述出水阀组包含顺次连接的第二温度计、第四压力表和第四蝶阀;所述电动调节阀阀组包含顺次连接的第五蝶阀、第一电动调节阀和第六蝶阀;
板式换热器的二次侧设置有电子元器件工艺回水流道和工艺供水流道,工艺回水流道沿着水流方向顺次连接有工艺回水口、水泵阀组和袋式过滤器阀组,工艺回水进入第一组和第二组板式换热器换热,沿着工艺供水流道由工艺给水口流出;其中,所述水泵阀组包含顺次连接的第七蝶阀、第五压力表、第二过滤器、第六压力表、第二泄水阀、水泵、第七压力表、第一止回阀和第八蝶阀;所述袋式过滤器阀组包含顺次连接的第九蝶阀、第八压力表、袋式过滤器、第九压力表和第十蝶阀,所述袋式过滤器下部顺次连接有蝶阀和杂质排出口;
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