[实用新型]一种电池硅片传送装置有效
| 申请号： | 201822070146.X | 申请日： | 2018-12-11 |
| 公开（公告）号： | CN208985971U | 公开（公告）日： | 2019-06-14 |
| 发明（设计）人： | 聂文杰;江华鹏;李跃平 | 申请（专利权）人： | 上海客辉自动化设备有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/677 | 分类号： | H01L21/677;H01L31/18 |
| 代理公司： | 上海领洋专利代理事务所(普通合伙) 31292 | 代理人： | 罗晓鹏 |
| 地址： | 201619 上海市松*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种电池硅片传送装置，该装置包括电机、主动轴、主动轮、从动轮、皮带和机架，所述电机与主动轴相连，所述主动轮安装在主动轴上，所述主动轮和从动轮的中心轴固定在机架上，所述皮带环绕在主动轮和从动轮上；所述的主动轮包括第一主动轮和第二主动轮，所述的从动轮包括第一从动轮和第二从动轮；所述皮带包括第一皮带和第二皮带；第一皮带环绕在第一主动轮和第一从动轮上；第二皮带环绕在第二主动轮和第二从动轮上；所述的第一皮带和第二皮带是斜面同步带，硅片放置在第一皮带和第二皮带的斜面上，仅由硅片的侧边边缘与第一皮带和第二皮带的斜面接触。 | ||
| 搜索关键词： | 皮带 主动轮 从动轮 主动轴 传送装置 电池硅片 环绕 电机 本实用新型 侧边边缘 硅片放置 斜面接触 同步带 中心轴 硅片 | ||
【主权项】：
1.一种电池硅片传送装置，其特征在于，所述的电池硅片传送装置包括电机、主动轴、主动轮、从动轮、皮带和机架，所述电机与主动轴相连，所述主动轮安装在主动轴上，所述主动轮和从动轮的中心轴固定在机架上，所述皮带环绕在主动轮和从动轮上；所述的主动轮包括第一主动轮和第二主动轮，所述的从动轮包括第一从动轮和第二从动轮；所述皮带包括第一皮带和第二皮带；第一皮带环绕在第一主动轮和第一从动轮上；第二皮带环绕在第二主动轮和第二从动轮上；所述的第一皮带和第二皮带是斜面同步带，硅片放置在第一皮带和第二皮带的斜面上，仅由硅片的侧边边缘与第一皮带和第二皮带的斜面接触。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
