[实用新型]一种镀膜补正装置和用于对曲面基板镀膜的镀膜机有效
| 申请号： | 201822032031.1 | 申请日： | 2018-12-05 |
| 公开（公告）号： | CN209722282U | 公开（公告）日： | 2019-12-03 |
| 发明（设计）人： | 朱伟;张继凯;程晓龙;康帅;裴鑫 | 申请（专利权）人： | 汉能移动能源控股集团有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/30 | 分类号： | C23C14/30;C23C14/50;C23C14/04 |
| 代理公司： | 11243 北京银龙知识产权代理有限公司 | 代理人： | 许静;黄灿<国际申请>=<国际公布>=< |
| 地址： | 100107 北京市朝阳*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种镀膜补正装置和用于对曲面基板镀膜的镀膜机，镀膜补正装置包括由第一端到第二端的方向上依次排布设置的多个遮挡区，且相邻两个所述遮挡区具有不同的遮挡面积。这样，当该镀膜补正装置设置于镀膜机上时，由于各遮挡区的遮挡面积不同，对靶材气体的遮挡效果也不同，能够实现对与不同遮挡区相对应的区域的靶材气体的浓度的调节。通过控制不同遮挡区与待镀膜曲面基板的位置关系，能够实现通过该镀膜补正装置对待镀膜曲面基板上镀膜的厚度的调节，使镀膜厚度更加均匀，实现降低待镀膜曲面基板镀膜后的色差。 | ||
| 搜索关键词： | 镀膜 遮挡区 补正装置 曲面基板 遮挡 本实用新型 色差 第一端 镀膜机 靶材 对靶 排布 | ||
【主权项】：
1.一种镀膜补正装置，其特征在于，包括第一端和与所述第一端相对的第二端，沿着从所述第一端到所述第二端的方向依次排布设置有多个遮挡区，相邻两个所述遮挡区具有不同的遮挡面积。/n
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