[实用新型]一种镀膜补正装置和用于对曲面基板镀膜的镀膜机

说明书

本实用新型提供一种镀膜补正装置和用于对曲面基板镀膜的镀膜机，镀膜补正装置包括由第一端到第二端的方向上依次排布设置的多个遮挡区，且相邻两个所述遮挡区具有不同的遮挡面积。这样，当该镀膜补正装置设置于镀膜机上时，由于各遮挡区的遮挡面积不同，对靶材气体的遮挡效果也不同，能够实现对与不同遮挡区相对应的区域的靶材气体的浓度的调节。通过控制不同遮挡区与待镀膜曲面基板的位置关系，能够实现通过该镀膜补正装置对待镀膜曲面基板上镀膜的厚度的调节，使镀膜厚度更加均匀，实现降低待镀膜曲面基板镀膜后的色差。

技术领域

本实用新型涉及镀膜技术领域，尤其涉及一种镀膜补正装置和用于对曲面基板镀膜的镀膜机。

背景技术

钢化玻璃瓦可以在曲面钢化玻璃基材上镀有不同的膜系来形成不同的颜色。现有的曲面钢化玻璃基材通常包括多个波峰和波谷，在镀膜过程中，由于波峰和波谷之间存在的高度差，所以各波峰和波谷距离镀膜的蒸发源之间的距离有所不同，容易导致镀膜不均匀，从而使得波峰和波谷处的色差较大。

实用新型内容

本实用新型实施例提供一种镀膜补正装置和用于对曲面基板镀膜的镀膜机，以解决镀膜不均匀导致曲面钢化玻璃基材的波峰和波谷处的色差较大的问题。

第一方面，本实用新型实施例提供了一种镀膜补正装置，包括第一端和与所述第一端相对的第二端，沿着从所述第一端到所述第二端的方向依次排布设置有多个遮挡区，相邻两个所述遮挡区具有不同的遮挡面积。

可选的，所述第一端为所述镀膜补正装置的安装端，所述第二端为所述镀膜补正装置的自由端。

可选的，所述多个遮挡区包括交替设置的第一遮挡区和第二遮挡区，所述第一遮挡区的遮挡面积大于相邻的所述第二遮挡区的遮挡面积。

可选的，每个所述第一遮挡区具有沿所述安装端到所述自由端的方向逐渐变窄的形状，每个所述第二遮挡区具有沿所述安装端到所述自由端的方向逐渐变窄的形状。

可选的，所述第一遮挡区中靠近所述自由端的第一遮挡区比相对远离所述自由端的第一遮挡区的遮挡面积小，所述第二遮挡区中靠近所述自由端的第二遮挡区比相对远离所述自由端的第二遮挡区的遮挡面积小。

可选的，在所述第一遮挡区和所述第二遮挡区之间还设置有第三遮挡区，所述第三遮挡区的遮挡面积介于相邻的第一遮挡区和第二遮挡区的遮挡面积之间。

可选的，所述镀膜补正装置为板状体，在所述板状体上设置有多个用于形成所述多个遮挡区的缺失部。

可选的，所述缺失部为从所述板状体的沿所述第一端向所述第二端方向延伸的边缘向内凹进的缺口。

可选的，所述缺失部为沿所述板状体的厚度方向穿透所述板状体设置的通孔。

第二方面，本实用新型实施例提供了一种用于对曲面基板镀膜的镀膜机，包括镀膜腔和位于所述镀膜腔内的靶材和夹具，所述镀膜机还包括以上任一项所述的镀膜补正装置，所述镀膜补正装置固定在所述镀膜腔的内壁上且位于所述靶材和所述夹具之间。

可选的，待镀膜曲面基板为具有相对于所述靶材的至少一个凸起部和至少一个凹陷部的波浪形基板，所述多个遮挡区包括交替设置的第一遮挡区和第二遮挡区，在所述夹具夹持有所述波浪形基板时，所述第一遮挡区和所述第二遮挡区的位置分别对应于所述凸起部和所述凹陷部。

可选的，所述镀膜补正装置安装成使得在所述夹具夹持有待镀膜曲面基板时，所述镀膜补正装置与所述待镀膜曲面基板平行。