[实用新型]晶片托盘定位机构和湿法栏具提升固定装置

摘要

本实用新型提供了一种晶片托盘定位机构和湿法栏具提升固定装置，其中，晶片托盘定位机构，包括固定座、安装座、第一驱动部、托起组件和下压组件；第一驱动部安装在固定座上并与安装座相连，第一驱动部用于驱动安装座沿第一方向移动；下压组件和托起组件分别设置在安装座上；托起组件包括托起部，托起部用于托起完成晶片取出的晶片托盘，下压组件包括下压部，下压部用于下压待完成晶片取出的晶片托盘，托起部和下压部之间的距离可沿第二方向调整，第一方向与第二方向相互垂直。本实用新型的技术方案有效地解决了现有技术中的湿法栏具提升固定装置内的晶片托盘变形而影响生产效率的问题。

主权项

1.一种晶片托盘定位机构，其特征在于，包括固定座(10)、安装座(20)、第一驱动部(30)、托起组件(40)和下压组件(50)；所述第一驱动部(30)安装在所述固定座(10)上并与所述安装座(20)相连，所述第一驱动部(30)用于驱动所述安装座(20)沿第一方向移动；所述下压组件(50)和所述托起组件(40)分别设置在所述安装座(20)上；所述托起组件(40)包括托起部，所述托起部用于托起完成晶片取出的晶片托盘(100)，所述下压组件(50)包括下压部，所述下压部用于下压待完成晶片取出的晶片托盘(100)，所述托起部和所述下压部之间的距离可沿第二方向调整，所述第一方向与所述第二方向相互垂直。