[实用新型]一种冷阱及镀膜装置有效
| 申请号： | 201821995139.4 | 申请日： | 2018-11-29 |
| 公开（公告）号： | CN209317082U | 公开（公告）日： | 2019-08-30 |
| 发明（设计）人： | 徐义;岳志远 | 申请（专利权）人： | 北京铂阳顶荣光伏科技有限公司 |
| 主分类号： | B01D8/00 | 分类号： | B01D8/00;C23C14/24;C23C14/56 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 李海建 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种冷阱及镀膜装置，其中，所述冷阱包括密封腔室、冷却机构和等离子体粉尘吸附装置。本方案提供的冷阱，设置有冷却机构和等离子体粉尘吸附装置，等离子体粉尘吸附装置的等离子体极板能够吸附蒸镀气体中的大部分蒸镀物质，尤其是蒸镀物质中的硒化物，冷却机构不仅能够吸收蒸镀气体中的热量而且能够吸附蒸镀气体中的蒸镀物质，等离子体粉尘吸附装置与冷却机构配合，实现对蒸镀气体中蒸镀物质的有效吸附，减少进入真空系统的蒸镀物质的量，降低蒸镀物质对后序真空系统的影响。 | ||
| 搜索关键词： | 蒸镀 等离子体 粉尘吸附装置 冷却机构 冷阱 吸附 镀膜装置 真空系统 本实用新型 密封腔室 硒化物 极板 吸收 配合 | ||
【主权项】：
1.一种冷阱，其特征在于，包括：供蒸镀室(1)内的蒸镀气体通过的密封腔室(2)，所述密封腔室(2)的进气端与所述蒸镀室(1)连通，所述密封腔室(2)的出气端与真空泵(3)连通；冷却机构(4)，所述冷却机构(4)包括至少一级冷却盘管，所述至少一级冷却盘管设置在所述密封腔室(2)内，所述冷却机构(4)用于吸收蒸镀气体中的热量并吸附蒸镀气体中的蒸镀物质；以及等离子体粉尘吸附装置，所述等离子体粉尘吸附装置包括设置在所述密封腔室(2)内的等离子体极板(5)和设置在所述密封腔室(2)外的等离子体电源(6)，所述等离子体极板(5)用于吸附所述蒸镀气体中的蒸镀物质；其中，所述蒸镀物质包括粉尘和/或有害物质。
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